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1. (WO2003071317) MIROIR MONOCHROMATEUR POUR LE DOMAINE SPECTRAL DE L'ULTRAVIOLET EXTREME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/071317    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/001842
Date de publication : 28.08.2003 Date de dépôt international : 21.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.08.2003    
CIB :
G02B 5/08 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c, 80686 München (DE) (Tous Sauf US).
FEIGL, Torsten [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KAISER, Norbert [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KUHLMANN, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
YULIN, Sergey [UA/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FEIGL, Torsten; (DE).
KAISER, Norbert; (DE).
KUHLMANN, Thomas; (DE).
YULIN, Sergey; (DE)
Mandataire : PFENNING MEINIG & PARTNER GBR; Joachimstaler Strasse 10-12, 10719 Berlin (DE)
Données relatives à la priorité :
102 08 705.9 25.02.2002 DE
Titre (DE) MONOCHROMATORSPIEGEL FÜR DEN EUV-SPEKTRALBEREICH
(EN) MONOCHROMATOR MIRROR FOR THE EUV-SPECTRAL RANGE
(FR) MIROIR MONOCHROMATEUR POUR LE DOMAINE SPECTRAL DE L'ULTRAVIOLET EXTREME
Abrégé : front page image
(DE)Monochromatorspiegel für den EUV-Spektralbereich mit einer auf ein Substrat aufgebrachten Schichtanordnung, die eine periodische Abfolge von zwei eine Periode mit der Periodendicke d bildenden Einzelschichten (A,B) unterschiedlicher Materialien als Spacer-Schicht bzw. als Absorber-Schicht aufweist, so dass die Reflektivität der zweiten oder einer höheren Bragg-Ordnung verwendet wird und wobei d eine Grössenabweichung von höchstens plusminus 3% aufweist und wobei das Verhältnis der Schichtdicke der Absorber-Schicht zur Periodendicke kleiner ist als das Verhältnis von 0,8 zur verwendeten Ordnung der Bragg-Reflexion.
(EN)The invention relates to a monochromator mirror for the EUV-spectral range, provided with a layer arrangement placed on a substrate, comprising a periodic sequence of two individual layers (A, B) made of different material forming a period having a thickness d in the form of a spacer-layer or an absorber-layer, whereby the reflectivity of the second or a higher Bragg-order is used. Said thickness d has a dimensional deviation of a maximum of 3% and the ratio of the layer thickness of the absorber-layer to the period thickness is smaller than the ratio of 0.8 of the used order of the Bragg-Reflexion.
(FR)L'invention concerne un miroir monochromateur pour le domaine spectral de l'ultraviolet extrême, qui présente un ensemble de couches appliqué sur un substrat et comportant une série périodique de deux couches individuelles (A, B) constituées de matière différente, formant une période d'une épaisseur d et constituant, respectivement, une couche d'espacement ou une couche d'absorption, de sorte que l'on utilise un coefficient de réflexion du second ordre de Bragg ou d'un ordre supérieur. Ladite épaisseur d peut présenter un écart de grandeur d'au maximum ? 3 % et le rapport entre l'épaisseur de la couche d'absorption et l'épaisseur de période est plus petit que le rapport de 0,8 à l'ordre de réflexion de Bragg utilisé.
États désignés : JP, PL, RU, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)