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1. (WO2003070610) EMMAGASINAGE LOCAL POUR POSTE DE TRAITEMENT DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/070610    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/004709
Date de publication : 28.08.2003 Date de dépôt international : 14.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.09.2003    
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : VERTICAL SOLUTIONS, INC. [US/US]; 4816 Lakebird Place, San Jose, CA 95124 (US) (Tous Sauf US).
SACKETT, James, G. [US/US]; (US) (US Seulement).
WELDON, David, E. [US/US]; (US) (US Seulement).
ANDERSON, Alexander, H. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SACKETT, James, G.; (US).
WELDON, David, E.; (US).
ANDERSON, Alexander, H.; (US)
Mandataire : SURYADEVARA, Omkar; Silicon Valley Patent Group LLP, Suite 360, 2350 Mission College Boulevard, Santa Clara, CA 95054 (US)
Données relatives à la priorité :
10/079,025 19.02.2002 US
Titre (EN) LOCAL STORE FOR A WAFER PROCESSING STATION
(FR) EMMAGASINAGE LOCAL POUR POSTE DE TRAITEMENT DE TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES
Abrégé : front page image
(EN)A buffer apparatus (20) includes a vertically moving mechanism containing a plurality of horizontally moving mechanisms to store carriers (27A, 27B) and transfer carriers to and from a load port (29), and one or more buffer load ports adjacent to the buffer apparatus to charge and uncharged the buffer apparatus by means of a guided vehicle, an overhead vehicle, or a human. A buffer system includes a buffer apparatus (20) and a processing system load port (29) to transfer carriers (27A, 27B) from the buffer apparatus to a processing system load port (29).
(FR)La présente invention concerne un appareil de transfert qui comprend : un mécanisme à déplacement vertical contenant une pluralité de mécanismes à déplacement horizontal destinés à emmagasiner des cassettes et à transférer des cassettes vers et depuis un port de chargement ; et un ou plusieurs ports de chargement de transfert adjacents à l'appareil de transfert, permettant de charger et décharger l'appareil de transfert au moyen d'un véhicule guidé, d'un véhicule suspendu ou par l'intermédiaire d'un être humain. Un système de transfert comprenant un appareil de transfert et un port de chargement de système de traitement permet de transférer les cassettes de l'appareil de transfert vers le port de chargement du système de traitement. Un système de transfert en réseau comprend une pluralité de systèmes de transfert, chacun d'eux interagissant avec un ensemble individuel de ports de chargement ou bien une paire de systèmes de transfert interagissant avec un ensemble partagé de ports de chargement. Une combinaison de systèmes de transfert en réseau comprend une pluralité de systèmes de transfert en réseau capables de partager un seul et unique espace frontal d'entretien de mécanisme et d'être desservis par l'avant.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)