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1. (WO2003069776) MICRORESONATEUR MEMS A ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME ACCORDABLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/069776    N° de la demande internationale :    PCT/FR2003/000427
Date de publication : 21.08.2003 Date de dépôt international : 11.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.09.2003    
CIB :
H03H 9/17 (2006.01)
Déposants : COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 31/33, rue de la Fédération, F-75752 PARIS 15ème (FR) (Tous Sauf US).
ROBERT, Philippe [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : ROBERT, Philippe; (FR)
Mandataire : LEHU, Jean; c/o BREVATOME, 3, rue du Docteur Lancereaux, F-75008 PARIS (FR)
Données relatives à la priorité :
02/01759 13.02.2002 FR
Titre (EN) TUNABLE BULK ACOUSTIC WAVE MEMS MICRORESONATOR
(FR) MICRORESONATEUR MEMS A ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME ACCORDABLE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a suspended bulk acoustic wave microresonator comprising a beam which is made from a piezoelectric material (1). Said beam is solidly connected to a support (3) and is sandwiched between excitation electrodes (4, 5). The inventive resonator also comprises means of modifying the limiting conditions of the resonator, which is formed by the excited beam, in order to alter the resonance frequency of the microresonator.
(FR)Ce microrésonateur à ondes acoustiques de volume suspendu comprend une poutre en matériau piézoélectrique (1) solidaire d'un support (3) et prise en sandwich entre des électrodes d'excitation (4, 5). Le résonateur comprend aussi des moyens permettant de modifier les conditions limites du résonateur constitué par la poutre excitée afin de modifier la fréquence de résonance du microrésonateur.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)