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1. (WO2003069733) MAITRISE DE VIBRATION PAR DECOMPOSITION DE SIGNAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/069733    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/001332
Date de publication : 21.08.2003 Date de dépôt international : 15.01.2003
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US) (Tous Sauf US).
JACQUES, Robert, N. [US/US]; (US) (US Seulement).
WARKENTIN, David, J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : JACQUES, Robert, N.; (US).
WARKENTIN, David, J.; (US)
Mandataire : ROSS, John, R.; Cymer, Inc., Legal Department - M/S 4-2C, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
10/074,059 11.02.2002 US
10/112,443 29.03.2002 US
Titre (EN) VIBRATION CONTROL UTILIZING SIGNAL DETRENDING
(FR) MAITRISE DE VIBRATION PAR DECOMPOSITION DE SIGNAL
Abrégé : front page image
(EN)A vibration reducing system includes a position control dive (65) and a vibration control drive (45). At least one position sensor (60) is used to provide feedback signals which are in turn unses to provide control signals fore both the position control drive (65) and the vibration control drive (45).
(FR)L'invention concerne un système de réduction de vibration comprenant une unité de commande de position (65) et une unité de commande de vibration (45). Un capteur de position (60), au moins, est utilisé afin de fournir des signaux de rétroaction qui sont utilisés pour envoyer des signaux de commande à la fois à l'unité de commande de position (65) et à l'unité de commande de vibration (45).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)