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1. (WO2003068671) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN SYSTEME DE DETECTEUR ET D'ACTIONNEUR ET SYSTEME DE DETECTEUR OU D'ACTIONNEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/068671    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/001222
Date de publication : 21.08.2003 Date de dépôt international : 07.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    14.03.2003    
CIB :
B81B 7/00 (2006.01)
Déposants : MICRONAS GMBH [DE/DE]; Hans-Bunte-Strasse 19, 79108 Freiburg (DE) (Tous Sauf US).
ROGALLA, Markus [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FREUND, Ingo [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LEHMANN, Mirko [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : ROGALLA, Markus; (DE).
FREUND, Ingo; (DE).
LEHMANN, Mirko; (DE)
Mandataire : WESTPHAL, MUSSGNUG & PARTNER; Am Riettor 5, 78048 Villingen-Schwenningen (DE)
Données relatives à la priorité :
102 06 464.4 16.02.2002 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SENSOR− ODER AKTUATORANORDNUNG SOWIE SENSOR− ODER AKTUATORANORDNUNG
(EN) METHOD FOR PRODUCING A SENSOR OR ACTUATOR ARRANGEMENT, AND CORRESPONDING SENSOR OR ACTUATOR ARRANGEMENT
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN SYSTEME DE DETECTEUR ET D'ACTIONNEUR ET SYSTEME DE DETECTEUR OU D'ACTIONNEUR
Abrégé : front page image
(DE)Um bei einer Sensor− oder Aktuatoranordnung, bei der auf oder in einem Chip (C) mindestens ein Sensor (S1) oder ein Aktuator vorgesehen ist, einerseits sowohl den Chip (C) als auch dessen elektrische Kontakte sicher vor der Umwelt zu schützen, ande­rerseits aber den Sensor (Sl) oder Aktuator für Messungen von Parametern einer Flüssigkeit oder eines Gases einsetzen zu können, ist der Chip (C) mit dem Sensor (S1) mit einer Schutzabdeckung (A1) bedeckt. Es ist mindestens ein Kanal (K1) zu einem Sensor (S1) oder Aktuator vorgesehen, der zumindest teilweise lateral zur Oberfläche der Chips (C) geführt ist. Vorzugsweise mündet der Kanal (K1) von einer Seite der Anordnung zum Sensor (S1).
(EN)The invention relates to a sensor or actuator arrangement in which at least one sensor (S1) or one actuator is provided on or in a chip (C). The aim of the invention is to safely protect both the chip (C) and the electrical contacts thereof from the environment, and also to be able to use the sensor (Sl) or actuator to measure parameters of a liquid or a gas. To this end, the chip (C) comprising the sensor (S1) is covered with a protective coating (A1) and at least one channel (K1) is provided, which is guided at least partially laterally in relation to the surface of the chip (C), towards a sensor (S1) or actuator. Preferably, the channel (K1) extends from one side of the arrangement to the sensor (S1).
(FR)L'invention vise, dans un système de détecteur et d'actionneur, dans lequel, sur ou dans une puce (C), il est prévu au moins un détecteur (S1) ou un actionneur, d'une part à protéger de manière fiable aussi bien la puce (C) que ses contacts électriques, de l'environnement et d'autre part, à pouvoir néanmoins utiliser le détecteur (S1) ou l'actionneur pour mesurer les paramètres d'un liquide ou d'un gaz. A cet effet, la puce (C) munie du détecteur (S1) est recouverte par un revêtement de protection (A1). Il est prévu au moins un canal (K1) en direction d'un détecteur (S1) ou d'un actionneur, qui est guidé au moins en partie latéralement par rapport à la surface de la puce (C ). Ledit canal (K1) débouche de préférence depuis une face du système, sur le détecteur (S1).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)