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1. (WO2003067618) SYSTEME ET PROCEDE POUR LA REDUCTION DE RUPTURE SUR DECHARGE ELECTRIQUE DANS DES SYSTEMES MICROELECTROMECANIQUES (MEMS) A LEVITATION ELECTROSTATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/067618    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/000636
Date de publication : 14.08.2003 Date de dépôt international : 09.01.2003
CIB :
G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/13 (2006.01)
Déposants : BALL SEMICONDUCTOR, INC. [US/US]; 415 Century Pkwy., Allen, TX 75013 (US).
TAKEDA, Nobuo [JP/US]; (US).
TODA, Risaku [JP/US]; (US)
Inventeurs : TAKEDA, Nobuo; (US).
TODA, Risaku; (US)
Mandataire : O'DELL, David, M.; Haynes and Boone, LLP, 901 Main Street, Suite 3100, Dallas, TX 75202-3789 (US)
Données relatives à la priorité :
10/071,149 08.02.2002 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING ELECTRIC DISCHARGE BREAKDOWN IN ELECTROSTATICALLY LEVITATED MEMS DEVICES
(FR) SYSTEME ET PROCEDE POUR LA REDUCTION DE RUPTURE SUR DECHARGE ELECTRIQUE DANS DES SYSTEMES MICROELECTROMECANIQUES (MEMS) A LEVITATION ELECTROSTATIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for reducing electric discharge breakdown occurrences in a micro−electromechanical system device is provided. The device comprises a core, a shell, and electrodes, which may be formed on the shell. When voltage is applied to the electrodes, each electrode applies an electrostatic force on the core. The electrodes are arranged in concentric sets, where each set may comprises two or more electrodes. Due to the concentricity of the electrodes, a minimum distance is maintained between the core and an outer electrode of an electrode set when the core nears or touches an inner electrode of the electrode set.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé pour la réduction des phénomènes de rupture sur décharge électrique dans un système MEMS. Le système comprend un noyau, une enveloppe, et des électrodes qui peuvent être établis sur l'enveloppe. Lorsqu'une tension est appliquée aux électrodes, chaque électrode exerce une force électrostatique sur le noyau. Les électrodes sont disposées en séries concentriques, chaque série pouvant comprendre deux ou plus de deux électrodes. La disposition concentrique permet de maintenir une distance minimum entre le noyau et une électrode externe de telle ou telle série, lorsque le noyau s'approche d'une électrode interne de la série ou touche cette électrode.
États désignés : CN, JP.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)