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1. (WO2003067234) MESURE DE FILM MINCE FONDEE SUR L'EFFET AUGER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/067234    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/003552
Date de publication : 14.08.2003 Date de dépôt international : 04.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    04.09.2003    
CIB :
G01N 23/227 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US).
APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. [IL/IL]; 8 Oppenheimer Street, 76236 Rehovot (IL)
Inventeurs : KADYSHEVITCH, Alexander; (IL).
SIMON, Avi; (IL)
Mandataire : FAHMI, Tarek, N.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 12400 Wilshire Boulevard, 7th Floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
60/354,362 04.02.2002 US
10/209,509 30.07.2002 US
Titre (EN) CONTROL OF FILM GROWTH USING AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY FOR MEASURING FILM THICKNESS AND CHEMICAL COMPOSITION
(FR) MESURE DE FILM MINCE FONDEE SUR L'EFFET AUGER
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for analysis of a thin film formed over an underlying layer on a surface of a sample, the thin film including first elements, while the underlying layer includes second elements. The apparatus includes an electron gun, which directs a beam of electrons to impinge on a point on the surface of the sample at which the thin film is formed. An electron detector receives Auger electrons emitted by the first and second elements responsive to the impinging beam of electrons, and to output a signal indicative of a distribution of energies of the emitted electrons. A controller receives the signal and analyzes the distribution of the energies so as to determine a composition of the first elements in the thin film and a thickness of the thin film. Furthermore, the controoler adjusts in response to the determinated composition and thickness an operating parameter of a deposition station adapted to form the thin film.
(FR)La présente invention concerne un appareil permettant d'analyser un film mince formé sur une couche sous-jacente à la surface d'un échantillon, le film mince comprenant des premiers éléments, alors que la couche sous-jacente comprend des seconds éléments. Ledit appareil comprend un canon à électrons, lequel dirige un faisceau d'électrons afin qu'il incide sur un point à la surface de l'échantillon sur lequel le film mince est formé. Un détecteur d'électrons reçoit des électrons Auger émis par les premiers et seconds éléments en réponse au faisceau incident d'électrons, et produit un signal indiquant une répartition des énergies des électrons émis. Un contrôleur reçoit le signal et analyse la répartition des énergies de manière à déterminer la composition des premiers éléments dans le film mince ainsi que l'épaisseur du film mince.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)