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1. (WO2003067226) ELLIPSOMETRE A TETE TOURNANTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/067226    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/002219
Date de publication : 14.08.2003 Date de dépôt international : 24.01.2003
CIB :
G01N 21/21 (2006.01)
Déposants : THERMA-WAVE INC. [US/US]; 1250 Reliance Way, Fremont, CA 94539 (US)
Inventeurs : BOWMAN, Barry, R.; (US)
Mandataire : STALLMAN, Michael, A.; Stallman & Pollock L.L.P., 121 Spear Street, Suite 290, San Francisco, CA 94105 (US)
Données relatives à la priorité :
60/354,387 04.02.2002 US
10/144,288 13.05.2002 US
Titre (EN) ROTATING HEAD ELLIPSOMETER
(FR) ELLIPSOMETRE A TETE TOURNANTE
Abrégé : front page image
(EN)An ellipsometric apparatus provides a rotating focused probe beam directed to impinge a sample in any direction. A rotating stage rotates the wafer into a linear travel range defined by a single linear axis of a single linear stage. As a result, an entire wafer is accessed for measurement with the single linear stage having a travel range of only half the wafer diameter. The reduced single linear travel results in a small travel envelope occupied by the wafer and consequently in a small footprint of the apparatus. The use of a rotating probe beam permits measurement of periodic structures along a preferred direction while permitting the use of a single reduced motion stage.
(FR)Cette invention concerne un dispositif ellipsométrique qui produit un faisceau sonde focalisé tournant qui va frapper un échantillon dans toutes les directions. Une platine rotative fait tourner une tranche dans une plage de déplacement linéaire définie l'axe linéaire unique de ladite platine. Par conséquent, Il est possible de mesurer une tranche dans sa totalité à l'aide d'une seule platine linéaire dont la plage de mouvement ne correspond qu'à la moitié du diamètre de la tranche. Ce déplacement linéaire unique réduit se traduit par une enveloppe de déplacement réduite occupée par la tranche et donc un faible encombrement de l'appareil. L'emploi d'un faisceau sonde rotatif permet de mesurer des structures périodiques selon une direction préférée en recourant à une platine unique à déplacement réduit.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)