WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003067208) CAPTEUR DE PRESSION A MICROSTRUCTURE INTEGREE RESONANTE A FONCTIONNEMENT OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/067208    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/003395
Date de publication : 14.08.2003 Date de dépôt international : 05.02.2003
CIB :
G01L 9/00 (2006.01)
Déposants : HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Inventeurs : YOUNGNER, Daniel, W.; (US)
Mandataire : CRISS, Roger, H.; Honeywell International Inc., 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Données relatives à la priorité :
10/071,484 07.02.2002 US
Titre (EN) OPTICALLY POWERED RESONANT INTEGRATED MICROSTRUCTURE PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION A MICROSTRUCTURE INTEGREE RESONANTE A FONCTIONNEMENT OPTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A pressure sensor using an optically powered resonant integrated microstructure (O-RIMS). The pressure sensor comprises a planar substrate (57) having a photodiode, a polysilicon shell (66), a microbeam (61) having a resonant frequency and fastened to the shell (66), and one or more optical fibers. A fluorescent material (58), such as erbium, is placed on the surface of the substrate (57) in proximity to the microbeam (61). A Fabry-Perot cavity is formed comprising the substrate (57), the microbeam (61), and the shell (66). Changes in the vibratory frequency of the microbeam (61) caused by pressure on the shell (66) causes light (50) delivered by an optical fiber to be modulated as the microbeam (61) vibrates. The modulated light (52) is conveyed to a sensor electronics arrangement via the optical fiber. The sensor electronics arrangement determines the pressure surrounding the O-RIMS from the modulated light.
(FR)L'invention concerne un capteur de pression utilisant une microstructure intégrée résonante à fonctionnement optique (O-RIMS). Ce capteur comprend un substrat plan (57) comportant une photodiode, une coque en polysilicium (66), un microfaisceau (61), possédant une fréquence de résonance, fixé à la coque (66), et une ou plusieurs fibres optiques. Un matériau fluorescent (58), tel que de l'erbium, est disposé sur la surface du substrat (57) au voisinage du microfaisceau (61). Une cavité formée du substrat (57), du microfaisceau (61), et de la coquille (66) constitue une cavité de Fabry-Pérot. Des changements de la fréquence de vibration du microfaisceau (61) provoqués par une pression sur la coquille (66) ont pour conséquence une modulation du rayonnement lumineux (50) fourni par une fibre optique lorsque le microfaisceau vibre (61). Le rayonnement lumineux modulé (52) est conduit vers un agencement électronique de capteur, via la fibre optique. L'agencement électronique du capteur détermine, à partir du rayonnement lumineux modulé, la pression entourant le capteur O-RIMS.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)