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1. (WO2003066284) PROCEDE ET APPAREIL DESTINES AU POLISSAGE CHIMIQUE MECANIQUE AVEC UN SYSTEME DE SURVEILLANCE PAR COURANTS DE FOUCAULT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/066284    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/003666
Date de publication : 14.08.2003 Date de dépôt international : 06.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.09.2003    
CIB :
B24B 49/04 (2006.01), B24B 37/013 (2012.01), B24B 37/20 (2012.01), B24B 49/10 (2006.01), B24B 49/12 (2006.01), B24D 13/14 (2006.01), B24D 7/12 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : BIRANG, Manoocher; (US).
SWEDEK, Boguslaw, A.; (US).
KIM, Hyeong-Cheol; (US)
Mandataire : GOREN, David, J.; Fish & Richardson P.C., 500 Arguello Street #500, Redwood City, CA 94063 (US)
Données relatives à la priorité :
60/353,419 06.02.2002 US
10/124,507 16.04.2002 US
10/123,917 16.04.2002 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING WITH AN EDDY CURRENT MONITORING SYSTEM
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DESTINES AU POLISSAGE CHIMIQUE MECANIQUE AVEC UN SYSTEME DE SURVEILLANCE PAR COURANTS DE FOUCAULT
Abrégé : front page image
(EN)A polishing system (20) can have a rotatable platen (24), a polishing pad (30) secured to the platen, a carrier head (10) to hold a substrate against the polishing pad, and an eddy current monitoring system including a coil or ferromagnetic body that extends at least partially through the polishing pad. A polishing pad can have a polishing layer and a coil or ferromagnetic body secured to the polishing layer. Recesses can be formed in a transparent window in the polishing pad.
(FR)Un système de polissage (20) peut comprendre une platine rotative (24), une plaque de polissage (30) solidarisée à la platine, une tête de support (10) destinée à presser un substrat contre la plaquette de polissage et un système de surveillance par courants de Foucault comprenant un corps ou une bobine ferromagnétique qui s'étend au moins partiellement à travers la plaquette de polissage. Une plaquette de polissage peut comprendre une couche de polissage ainsi qu'une bobine ou un corps ferromagnétique solidarisé à la couche de polissage. Des retraits peuvent être formés dans une fenêtre transparente à l'intérieur de la plaquette de polissage.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)