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1. (WO2003065766) CHAUFFAGE SOUS VIDE EN PRESENCE D'UN PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/065766    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/001516
Date de publication : 07.08.2003 Date de dépôt international : 29.01.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    24.07.2003    
CIB :
C23C 14/54 (2006.01), C23C 16/46 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H05B 3/00 (2006.01), H05B 7/00 (2006.01)
Déposants : N.V. BEKAERT S.A. [BE/BE]; Bekaertstraat 2, B-8550 ZWEVEGEM (BE) (CN only).
DE BOSSCHER, Wilmert [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
DENUL, Jurgen [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
GOBIN, Guy [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
PERSOONE, Bart [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
DOEHLER, Joachim [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : DE BOSSCHER, Wilmert; (BE).
DENUL, Jurgen; (BE).
GOBIN, Guy; (BE).
PERSOONE, Bart; (BE).
DOEHLER, Joachim; (US)
Mandataire : MESSELY, Marc; N.V. BEKAERT S.A., Bekaertstraat 2, B-8550 ZWEVEGEM (BE)
Données relatives à la priorité :
02075507.0 30.01.2002 EP
Titre (EN) HEATING IN A VACUUM ATMOSPHERE IN THE PRESENCE OF A PLASMA
(FR) CHAUFFAGE SOUS VIDE EN PRESENCE D'UN PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)A method of heating in a vacuum atmosphere in the presence of a plasma, comprises the following steps :a) providing infrared radiation means (16) in a vacuum chamber(10) ;b) providing a first electrical conductor (18) to the infrared radiation means (16) ;c) providing a second electrical conductor (20) from the infrared radiation means (16) ;d) putting an electrical voltage over said infrared radiation means (16) ; e) preventing the first conductor (18) and the second conductor (20) from having an electrical voltage above +55 Volt.The advantage is that arcing is avoided.
(FR)L'invention porte sur un procédé de chauffage sous vide en présence d'un plasma comportant les étapes suivantes: a) mise en place d'un chauffage IR (16) dans une chambre à vide (10); b) mise en place d'un premier conducteur électrique (18) allant vers le chauffage IR (16); c) mise en place d'un deuxième conducteur électrique (20) partant du chauffage IR (16); d) application d'une tension électrique au chauffage IR (16); e) limitation à +55 Volt de la tension appliquée aux conducteurs (18, 20). On évite ainsi la production d'arcs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)