WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003065438) SOLUTIONS DE PGO UTILISEES DANS LA PREPARATION DE FILMS MINCES DE PGO PAR REVETEMENT PAR CENTRIFUGATIONSOLUTIONS DE PGO UTILISEES DANS LA PREPARATION DE FILMS MINCES DE PGO PAR REVETEMENT PAR CENTRIFUGATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/065438    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/000807
Date de publication : 07.08.2003 Date de dépôt international : 31.01.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.11.2002    
CIB :
H01L 21/314 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01)
Déposants : SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 545-8522 (JP)
Inventeurs : ZHUANG, Wei-Wei; (US).
MAA, Jer-shen; (US).
ZHANG, Fengyan; (US).
HSU, Sheng Teng; (US)
Mandataire : YAMAMOTO, Shusaku; Fifteenth Floor, Crystal Tower, 2-27, Shiromi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 540-6015 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PGO SOLUTIONS FOR THE PREPARATION OF PGO THIN FILMS VIA SPIN COATING
(FR) SOLUTIONS DE PGO UTILISEES DANS LA PREPARATION DE FILMS MINCES DE PGO PAR REVETEMENT PAR CENTRIFUGATIONSOLUTIONS DE PGO UTILISEES DANS LA PREPARATION DE FILMS MINCES DE PGO PAR REVETEMENT PAR CENTRIFUGATION
Abrégé : front page image
(EN)A method of preparing a PGO solution for spin coating includes preparing a 2-methoxyethanol organic solvent; adding Pb(OCH3CO)2¥3H2O to the organic solvent at ambient temperature and pressure in a nitrogen-filled gloved box to form Pb in methoxyethanol; refluxing the solution in a nitrogen atmosphere at 150 Ž for at least two hours; fractionally distilling the refluxed solution at approximately 150 Ž to remove all of the water from the solution; cooling the solution to room temperature; determining the Pb concentration of the solution; adding the 2-methoxyethanol solution to the Pb 2-methoxyethanol until a desired Pb concentration is achieved; combining Ge(OR)4, where R is taken from the group of Rs consisting of CH2CH3 and CH(CH3)2, and 2-methoxyethanol; and adding Ge(OR)4 2-methoxyethanol to PbO 2-methoxyethanol to form the PGO solution having a predetermined metal ion concentration and a predetermined Pb:Ge molar ratio.
(FR)L'invention concerne un procédé de préparation d'une solution de PGO de revêtement par centrifugation, consistant à préparer un solvant organique de 2-méthoxyéthanol; à ajouter Pb(OCH3CO)2 3H2O au solvant organique à température et à pression ambiante dans une boîte protégée remplie d'azote afin d'obtenir le Pb dans du méthoxyéthanol; à porter à reflux la solution dans une atmosphère azotée à 150 °C pendant au moins deux heures; à distiller de manière fractionnelle la solution portée à reflux à approximativement 150 °C pour éliminer toute l'eau de la solution; à refroidir la solution à température ambiante; à déterminer la concentration de Pb de la solution; à ajouter la solution de 2-méthoxyéthanol au Pb 2-méthoxyéthanol jusqu'à obtenir une concentration de Pb désirée; à combiner Ge(OR)4, R étant sélectionné dans le groupe de Rs constitué de CH2CH3 et CH(CH3)2, et 2-méthoxyéthanol; et à ajouter Ge(OR)4 2-méthoxyéthanol au PbO 2-méthoxyéthanol pour former la solution de PGO avec une concentration d'ions métalliques prédéterminée et un rapport molaire Pb:Ge prédéterminé.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)