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1. (WO2003065428) SYSTEME DE REGLAGE D'ETAT DE FORMATION D'IMAGES, PROCEDE D'INSOLATION, APPAREIL D'EXPOSITION, PROGRAMME, ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT D'INFORMATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/065428    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/000833
Date de publication : 07.08.2003 Date de dépôt international : 29.01.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.08.2003    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (Tous Sauf US).
SHIMIZU, Yasuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIRUKAWA, Shigeru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Kousuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUYAMA, Tomoyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIMIZU, Yasuo; (JP).
HIRUKAWA, Shigeru; (JP).
SUZUKI, Kousuke; (JP).
MATSUYAMA, Tomoyuki; (JP)
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; Paseo Building 5th floor, 4-20, Haramachida 5-chome, Machida-shi, Tokyo 194-0013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-020712 29.01.2002 JP
2002-158954 31.05.2002 JP
Titre (EN) IMAGE FORMATION STATE ADJUSTMENT SYSTEM, EXPOSURE METHOD, EXPOSURE APPARATUS, PROGRAM, AND INFORMATION RECORDING MEDIUM
(FR) SYSTEME DE REGLAGE D'ETAT DE FORMATION D'IMAGES, PROCEDE D'INSOLATION, APPAREIL D'EXPOSITION, PROGRAMME, ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT D'INFORMATION
Abrégé : front page image
(EN)A second communication server (930) acquires adjustment information on an adjustment device of exposure apparatuses (9221 to 9223) under an exposure condition serving as a reference and information on image formation performance (such as wavefront aberration) of a projection optical system via a first communication server (920) and calculates an optimal adjustment amount of the adjustment device under the target exposure condition according to the acquired information. Moreover, the second communication server acquires adjustment information on the adjustment device under the target exposure condition and measurement data on the image formation performance of the projection optical system via the first communication server (920) and calculates an optimal adjustment amount of the adjustment device under the target exposure condition according to the information acquired. The second communication server controls the adjustment device of the exposure apparatus via the first communication server (920) according to the calculation results.
(FR)Un deuxième serveur de communication (930) fait l'acquisition d'une information de réglage sur un dispositif de réglage d'appareils d'exposition (9221 à 9223) sous une condition d'exposition servant de référence et une information sur la performance de formation d'images (telle que l'aberration de front d'onde) d'un système optique de projection via un premier serveur de communication (920) et calcule une valeur optimale de réglage du dispositif de réglage sous la condition d'exposition de référence selon l'information acquise. Par ailleurs, le deuxième serveur de communication fait l'acquisition d'une information de réglage sur le dispositif de réglage sous la condition d'exposition de référence et des données de mesure sur la performance de formation d'images du système optique de projection via un premier serveur de communication (920) et calcule une valeur optimale de réglage du dispositif de réglage sous la condition d'exposition de référence selon l'information acquise. Le deuxième serveur de communication contrôle le dispositif de réglage de l'appareil d'exposition via le premier serveur de communication (920) selon les résultats du calcul.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)