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1. (WO2003065061) DISPOSITIF ET PROCEDE PERMETTANT D'AMELIORER LE COUPLAGE D'HYPERFREQUENCES ET D'UNE CAVITE RESONANTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/065061    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/001073
Date de publication : 07.08.2003 Date de dépôt international : 31.01.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.08.2003    
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
STRANG, Eric, J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : STRANG, Eric, J.; (US)
Mandataire : CASEY, Michael, R.; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C., 1940 Duke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Données relatives à la priorité :
60/352,503 31.01.2002 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR IMPROVING MICROWAVE COUPLING TO A RESONANT CAVITY
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE PERMETTANT D'AMELIORER LE COUPLAGE D'HYPERFREQUENCES ET D'UNE CAVITE RESONANTE
Abrégé : front page image
(EN)An equipment status monitoring system (10) and method of operating includes first (40) and second (50) microwave mirrors in a plasma processing chamber (20) each forming a multi-modal resonator. A power source (60) is coupled to the first mirror (40) and configured to produce an excitation signal. A detector (70) is coupled to at least one of the first mirror (40) and the second mirror (50) and configured to measure an excitation signal. At least one of the power source (60) and the detector (70) is coupled to a divergent aperture (44).
(FR)Cette invention concerne un système et un procédé de surveillance d'état de matériel(10) comprenant un premier (40) et un second (50) miroirs à hyperfréquences dans une chambre de traitement plasmatique (20) qui forment chacun un résonateur multi-modal. Une alimentation (60) qui est couplée au premier miroir (40) est conçue pour produire un premier signal d'excitation. Un détecteur (70) qui est couplé soit au premier (40), soit au second (50) miroir, est conçu pour mesurer le signal d'excitation. Soit l'alimentation (60), soit le détecteur (70) est couplé à une ouverture divergente (44).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)