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1. (WO2003064975) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION MICROMECANIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/064975    N° de la demande internationale :    PCT/DE2002/003570
Date de publication : 07.08.2003 Date de dépôt international : 23.09.2002
CIB :
G01C 19/56 (2012.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (Tous Sauf US).
WILLIG, Rainer [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
THOMAE, Andreas [DE/US]; (US) (US Seulement).
KUHLMANN, Burkhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HAUER, Joerg [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GOMEZ, Udo-Martin [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GOETZ, Siegbert [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
DOERING, Christian [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FEHRENBACH, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BAUER, Wolfram [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BISCHOF, Udo [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
NEUL, Reinhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FUNK, Karsten [DE/US]; (US) (US Seulement).
LUTZ, Markus [DE/US]; (US) (US Seulement).
WUCHER, Gerhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FRANZ, Jochen [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : WILLIG, Rainer; (DE).
THOMAE, Andreas; (US).
KUHLMANN, Burkhard; (DE).
HAUER, Joerg; (DE).
GOMEZ, Udo-Martin; (DE).
GOETZ, Siegbert; (DE).
DOERING, Christian; (DE).
FEHRENBACH, Michael; (DE).
BAUER, Wolfram; (DE).
BISCHOF, Udo; (DE).
NEUL, Reinhard; (DE).
FUNK, Karsten; (US).
LUTZ, Markus; (US).
WUCHER, Gerhard; (DE).
FRANZ, Jochen; (DE)
Données relatives à la priorité :
102 03 515.6 30.01.2002 DE
Titre (DE) MIKROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR
(EN) MICROMECHANICAL ROTATION SPEED SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION MICROMECANIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor mit einem ersten Coriolis-Massenelement (2a) und einem zweiten Coriolis-Massenelement (2b), welche über einer Oberfläche eines Substrats (100) angeordnet sind; einer Antriebseinrichtung, durch die das erste Coriolis-Massenelement (2a) und das zweite Coriolis-Massenelement (2b) zu Schwingungen entlang einer ersten Achse (x) antreibbar sind; und einer Erfassungseinrichtung, durch die Auslenkungen des ersten Coriolis-Massenelements (2a) und des zweiten Coriolis-Massenelements (2b) entlang einer zweiten Achse (y), die senkrecht zur ersten Achse (x) ist, aufgrund einer entsprechend wirkenden Coriolis-Kraft erfaßbar sind; wobei die erste Achse (x) und die zweite Achse (y) parallel zur Oberfläche des Substrats (100) verlaufen; die Erfassungseinrichtung eine erste Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und eine zweite Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) aufweist; und die Schwerpunkte des ersten Coriolis-Massenelements (2a), des zweiten Coriolis-Massenelements (2b), der ersten Erfassungs-Masseneinrichtung (3a, 3a`) und der zweiten Erfassungs-Masseneinrichtung (3b, 3b`) im Ruhezustand in einem gemeinsamen Massenschwerpunkt (SP) zusammen fallen.
(EN)The invention relates to a micromechanical rotation speed sensor, comprising a first Coriolois mass element (2a) and a second Coriolis mass element (2b), arranged above the surface of a substrate (100), a drive device by means of which the first Coriolis mass element (2a) and the second Coriolis mass element (2b) may be driven in oscillation along a first axis (x) and a recording device by means of which the displacements of the first Coriolis mass element (2a) and the second Coriolis mass element (2b) may be recorded along a second axis (y) which is perpendicular to the first axis (x) as a result of the correspondingly-acting Coriolis force. The first axis (x) and the second axis (y) run parallel to the surface of the substrate (100), the recording device comprises a first recording mass device (3a, 3a`) and a second recording mass device (3b, 3b`) and the centre of gravity of the first Coriolis mass element (2a), the second Coriolis mass element (2b), the first recording mass device (3a, 3a`) and the second recording mass device (3b, 3b`) coincide at a common centre of mass (SP) in the idle state.
(FR)L'invention concerne un capteur de vitesse de rotation micromécanique comportant: un premier élément de masse de Coriolis (2a) et un second élément de masse de Coriolis (2b) qui sont disposés sur une surface d'un substrat (100); un dispositif d'entraînement, au moyen duquel le premier élément de masse de Coriolis (2a) et le second élément de masse de Coriolis (2b) peuvent être mis en vibrations le long d'un premier axe (x); et un dispositif de détection, au moyen duquel les écarts du premier élément de masse de Coriolis (2a) et du second élément de masse de Coriolis (2b) le long d'un second axe (y), qui est perpendiculaire au premier axe (x), peuvent être détectés sur la base d'une force de Coriolis agissant en conséquence. Le premier axe (x) et le second axe (y) s'étendent parallèlement à la surface du substrat (100). Le dispositif de détection comporte un premier dispositif de masse de détection (3a, 3a') et un second dispositif de masse de détection (3b, 3b'). Les centres de gravité du premier élément de masse de Coriolis (2a), du second élément de masse de Coriolis (2b), du premier dispositif de masse de détection (3a, 3a') et du second dispositif de masse de détection (3b, 3b') coïncidant, au repos, avec un centre de gravité de masse commun (SP).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)