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1. (WO2003063947) PROCEDE ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/063947    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/001908
Date de publication : 07.08.2003 Date de dépôt international : 23.01.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    27.08.2003    
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : WHITE, John, M.; (US).
LAW, Kam, S.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; Moser, Patterson & sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
10/066,131 30.01.2002 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE PROCESSING
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the invention provide methods and apparatus to process substrates such as flat panel displays, solar panels, etc. In one aspect, the apparatus provides external toroidal plasma generation to perform substrate processes such as deposition and etching of rectangular−shaped substrates. In another aspect, the apparatus provides external toroidal plasma generation to perform chamber cleaning by flowing plasma of a process gas such as argon through a toroidal plasma current path that includes a processing region to be cleaned, introducing a cleaning gas such as fluorine into the processing region from a showerhead apparatus, and cleaning the processing region. In still another aspect, a toroidal plasma loop is shaped by a plasma shaping apparatus to direct the plasma across a processing region within the apparatus to improve process uniformity.
(FR)Des formes de réalisation de la présente invention concernent des procédés et un appareil de traitement de substrats tels que des affichages à écran plat, des panneaux solaires et autres. Selon un aspect, l'appareil assure la génération d'un plasma toroïdal externe pour effectuer des traitements de substrat tels que le dépôt et la gravure de substrats de forme rectangulaire. Selon un autre aspect, l'appareil assure la génération d'un plasma toroïdal externe pour effectuer le nettoyage de la chambre, dans lequel on fait s'écouler un plasma d'un gaz de traitement tel que de l'argon dans un chemin de courant du plasma toroïdal qui comprend une région de traitement devant être nettoyée, on introduit avec un appareil à tête d'aspersion, un gaz de nettoyage tel que du fluor dans la région de traitement et on nettoie la région de traitement. Selon un autre aspect, une boucle de plasma toroïdal est façonnée par un appareil de mise en forme du plasma pour diriger le plasma sur une région de traitement située dans l'appareil afin d'améliorer l'uniformité du traitement.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)