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1. (WO2003015139) SYSTEME A ETAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION, ET PROCEDE DE FABRICATION DU DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/015139    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/007680
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 29.07.2002
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (Tous Sauf US).
NISHI, Kenji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NISHI, Kenji; (JP)
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; Paseo Building 5th floor 4-20, Haramachida 5-chome Machida-shi, Tokyo 194-0013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2001-241354 08.08.2001 JP
Titre (EN) STAGE SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE
(FR) SYSTEME A ETAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION, ET PROCEDE DE FABRICATION DU DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A stage system, wherein a stage is driven by a stationary part (74) installed so as to be vibrationally isolated from a surface plate (30) and a moving part (72) connected to the stage (RST) along the guide surfaces (92c, 92d) of the surface plate and, when, for example, the vertical drive amount of the surface plate exceeds a specified value, the connection of the stage to the moving part by a connection mechanism (33) is released, whereby, since the connection between the stage and the moving part is released before a large load acts between the moving part and the stationary part by the contact of the moving part connected to the stage on the surface plate with the stationary part, the damage of the moving part and the stationary part by contact can be avoided and, since the stationary part is installed so as to be vibrationally isolated from the surface plate, the positional control of the stage can be performed with high accuracy and, accordingly, the stage can be stably driven over a long period.
(FR)La présente invention concerne un système à étage, dans lequel un étage est entraîné par une partie fixe (74) installée de manière à être isolée des vibrations d'une plaque de surface (30) et une partie mobile (72) reliée à l'étage (RST) selon des faces de guidage (92c, 92d) de la plaque de surface et, lorsque, par exemple la quantité d'entraînement de la plaque de surface dépasse une valeur déterminée, la connexion de l'étage à la partie mobile par un mécanisme de connexion (33) est desserrée, grâce à quoi, la connexion entre l'étage et la partie mobile étant desserrée préalablement à l'action d'une charge importante entre la partie mobile et la partie fixe par le contact de la partie mobile reliée à l'étage sur la plaque de surface, on peut éviter l'endommagement de la partie mobile et de la partie fixe par contact et, la partie fixe étant installée à être isolée des vibrations de la plaque surface, le contrôle de positionnement de l'étage peut être effectué avec une grande précision, et ainsi, l'étage peut être entraîné de manière stable pour une longue durée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)