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1. (WO2003015122) DISPOSITIF POUR MUNIR DES OBJETS D'UN REVETEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/015122    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/008852
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 07.08.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.12.2002    
CIB :
C23C 16/511 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : SCHOTT GLAS [DE/DE]; Hattenbergstrasse 10, 55122 Mainz (DE) (AE, AG, AL, AM, AT, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, FR, GA, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IS, IT, KE, KG, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NL, NO, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZM, ZW only).
CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as SCHOTT GLAS [DE/DE]; Hattenbergerstrasse 10, 55122 Mainz (DE) (AU, BB, BF, BJ, BZ, CF, CG, CI, CM, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GW, IE, IL, IN, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, MG, ML, MN, MR, MW, MZ, NE, NZ, SD, SG, SL, SN, SZ, TD, TG, TT, TZ, UG, VN, ZA, ZM, ZW only).
CARL-ZEISS-STIFTUNG [DE/DE]; 89518 Heidenheim an der Brenz (DE) (BB, BF, BJ, BZ, CF, CG, CI, CM, GA, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GW, JP, KE, KG, KZ, LC, LK, LR, LS, MG, ML, MN, MR, MW, MZ, NE, SD, SL, SN, SZ, TD, TG, TT, TZ, UG, VN, ZM, ZW only).
BEHLE, Stephan [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
BEWIG, Lars [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KÜPPER, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MARING, Wolfram [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MÖLLE, Christoph [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WALTHER, Marten [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BEHLE, Stephan; (DE).
BEWIG, Lars; (DE).
KÜPPER, Thomas; (DE).
MARING, Wolfram; (DE).
MÖLLE, Christoph; (DE).
WALTHER, Marten; (DE)
Mandataire : HERDEN, Andreas; Blumbach, Kramer & Partner GbR, Alexandrastrasse 5, 65187 Wiesbaden (DE)
Données relatives à la priorité :
101 38 693.1 07.08.2001 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON GEGENSTÄNDEN
(EN) DEVICE FOR THE COATING OF OBJECTS
(FR) DISPOSITIF POUR MUNIR DES OBJETS D'UN REVETEMENT
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beschichten von Gegenständen. Die vorliegende Erfindung ist ausgestattet mit den folgenden Merkmalen: mit einer einzigen Mikrowellenquelle; mit zwei oder mehreren Beschichtungskammern; alle Beschichtungskammern sind an die einzige Mikrowellenquelle angeschlossen; es ist eine Impedanzstruktur oder eine Hohlleiterstruktur zur Aufteilung der Mikrowellenenergie zur Erzeugung der Plasmen in den einzelnen Kammern vorgesehen.
(EN)The invention relates to a device for the coating of objects. Said invention is characterised by the following features: a single microwave source, two or more coating chambers, all coating chambers are connected to the single microwave source and an impedance structure or a hollow guide structure is provided for distribution of the microwave energy for generation of the plasma in the individual chambers.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de munir des objets d'un revêtement. L'invention présente les caractéristiques suivantes : il n'est prévu qu'une seule source de micro-ondes ; au moins deux chambres de recouvrement ; toutes les chambres de recouvrement sont raccordées à l'unique source de micro-ondes ; il est prévu une structure d'impédance ou une structure de guide d'ondes pour répartir l'énergie des micro-ondes afin de produire des plasmas dans les chambres individuelles.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)