WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003014828) AMELIORATION DE LA RESOLUTION DE MASQUES A DEPHASAGE ALTERNATIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/014828    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/008783
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 06.08.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.03.2003    
CIB :
G03F 1/32 (2012.01), G03F 1/34 (2012.01), G03F 1/00 (2012.01)
Déposants : INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; ST.-MARTIN-STR. 53, 81669 MUENCHEN (DE)
Inventeurs : KLEE, Veit; (US).
MONO, Tobias; (DE).
SCHRÖDER, Uwe, Paul; (DE)
Mandataire : BARTH, Stephan; Reinhard, Skuhra, Weise & Partner GBR, Friedrichstr. 31, 80801 München (DE)
Données relatives à la priorité :
09/923,527 06.08.2001 US
Titre (EN) RESOLUTION ENHANCEMENT FOR ALTERNATING PHASE SHIFT MASKS
(FR) AMELIORATION DE LA RESOLUTION DE MASQUES A DEPHASAGE ALTERNATIF
Abrégé : front page image
(EN)An alternating phase shift mask (400) and method of manufacturing thereof including assist edges (450) and (452) surrounding a main phase edge (420). Assist edges (450) and (452) improve the resolution of the alternating phase shift mask (400), thus enabling the patterning of smaller size features on a semiconductor wafer.
(FR)Cette invention concerne un masque (400) à déphasage alternatif ainsi que son procédé de fabrication. Ce masque comprend des bords auxiliaires (450) et (452) venant entourer un bord de phase principal (420). Ces bords auxiliaires (450) et (452) améliorent la résolution du masque (400) à déphasage alternatif, permettant ainsi l'impression de motifs de plus petite dimension sur une tranche de semiconducteur.
États désignés : SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)