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1. (WO2003014718) PROCEDE ET APPAREIL DE CARACTERISATION DE LA PROPRETE D'UNE CIBLE NON DESTRUCTRICE SELON LES TYPES DE DEFAUTS TRIES PAR TAILLE ET EMPLACEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/014718    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/023362
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 23.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    24.02.2003    
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), G01N 29/30 (2006.01), G01N 29/34 (2006.01), G01N 29/44 (2006.01), G01N 29/48 (2006.01), G01R 33/465 (2006.01)
Déposants : TOSOH SMD, INC. [US/US]; 3600 Gantz Road, Grove City, OH 43123 (US) (Tous Sauf US).
LEYBOVICH, Alexander [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LEYBOVICH, Alexander; (US)
Mandataire : PEACOCK, Bruce, E.; Wegman, Hessler & Vanderburg, Suite 200, 6055 Rockside Woods Boulevard, Cleveland, OH 44131 (US)
Données relatives à la priorité :
60/311,152 09.08.2001 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR NON-DESTRUCTIVE TARGET CLEANLINESS CHARACTERIZATION BY TYPES OF FLAWS SORTED BY SIZE AND LOCATION
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE CARACTERISATION DE LA PROPRETE D'UNE CIBLE NON DESTRUCTRICE SELON LES TYPES DE DEFAUTS TRIES PAR TAILLE ET EMPLACEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A preferred, non-destructive method for characterizing sputter target cleanliness includes the steps of sequentially irradiating the test sample (52') with sonic energy (62') predominantly of target sputter track areas; detecting echoes (64') induced by the sonic energy (62'); and discriminating texture-related backscattering noise from the echoes (64') to obtain modified amplitude signals. These modified amplitude signals are compared with one or more calibration values so as to detect flaw data points at certain positions or locations where the comparison indicates the presence of at least one flaw (72'). Most preferably, groups of the flaw data pixels corresponding to single large flaws are bound together so as to generate an adjusted set of flaw data points in which each group is replaced with a single, most significant data point. The adjusted set of flaw data points is used to calculate one or more cleanliness factors, or to plot a histogram, which characterizes the cleanliness sample.
(FR)L'invention porte sur un procédé non destructeur et préféré permettant de caractériser la propreté d'une cible de pulvérisation consistant à utiliser l'énergie sonique pour irradier séquentiellement un échantillon, plus particulièrement les zones de suivi de la pulvérisation de la cible; détecter les échos induits par l'énergie sonique; et différentier le bruit de rétrodiffusion associé à la texture en provenance des échos afin d'obtenir des signaux dont l'amplitude est modifiée. Ces signaux sont comparés avec une ou plusieurs valeurs de calibrage de manière à détecter des points de données de défaut à certains emplacements, la comparaison indiquant la présence d'au moins un défaut. On relie, de préférence, des groupes de pixels de données de défaut correspondant à un seul grand défaut de manière à générer un ensemble réglé de points de données de défaut, dans lequel chaque groupe est remplacé par un seul point de données s'avérant le plus significatif. L'ensemble réglé de points de données de défaut est utilisé pour calculer un ou plusieurs facteurs de propreté ou pour tracer un histogramme caractérisant la propreté de l'échantillon.
États désignés : JP, KR, US.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)