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1. (WO2003014416) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REVETEMENT DE METAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/014416    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/008213
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 12.08.2002
CIB :
C23C 18/16 (2006.01)
Déposants : EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 144-8510 (JP) (Tous Sauf US).
HONGO, Akihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
WANG, Xinming [CN/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUDA, Naoki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HONGO, Akihisa; (JP).
WANG, Xinming; (JP).
MATSUDA, Naoki; (JP)
Mandataire : WATANABE, Isamu; GOWA Nishi-Shinjuku 4F, 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2001-243534 10.08.2001 JP
2001-268640 05.09.2001 JP
2001-319837 17.10.2001 JP
Titre (EN) PLATING DEVICE AND METHOD
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REVETEMENT DE METAL
Abrégé : front page image
(EN)There is provided a plating device that can easily form a uniform plated film on the surface, to be plated, of a material. The plating device includes: a holder for holding a material with its surface, to be plated, upward and its peripheral portion of the surface, to be plated, sealed; a heated fluid holding section for holding a heated fluid which is allowed to come into contact with the back surface of the material held by the holder to heat the material; and a plating solution supply section for supplying a plating solution to the surface, to be plated, of the material held by the holder.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de revêtement de métal. Ledit dispositif peut permettre de former facilement une pellicule de revêtement sur la surface à revêtir d'un matériau. Ledit dispositif de revêtement de métal comprend: un support destiné à maintenir un matériau, la surface à revêtir étant orientée vers le haut et la partie périphérique de la surface à revêtir étant protégée; une partie de retenue de liquide chauffé permettant de retenir un liquide chauffé pouvant venir en contact avec le dos du matériau maintenu par le support pour chauffer le matériau; et une partie d'alimentation de solution de revêtement de métal destiné à l'alimentation d'une solution de revêtement de métal sur la surface à revêtir du matériau maintenu par le support.
États désignés : CN, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)