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1. (WO2003014410) DISPOSITIF DE PULVERISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/014410    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/007719
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 30.07.2002
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : NIPPON SHEET GLASS CO., LTD. [JP/JP]; 7-28, Kitahama 4-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 541-0041 (JP) (Tous Sauf US).
MATSUMOTO, Toshiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OGINO, Etsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ISHII, Norimasa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MATSUMOTO, Toshiyuki; (JP).
OGINO, Etsuo; (JP).
ISHII, Norimasa; (JP)
Mandataire : IWASA, Yoshiyuki; IN BLDG., 10-17, Higashikanda 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101-0031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2001-239028 07.08.2001 JP
Titre (EN) SPUTTERING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PULVERISATION
Abrégé : front page image
(EN)A sputtering device comprising a chamber in which an object of film forming is movably disposed, a plurality of sets of cathodes disposed in the chamber, each set consisting of two cathodes reversed in polarity, and a plurality of AC cathode power supplies individually connected to respective sets of cathodes and having the frequencies and phases of respective outputs synchronized so as to prevent discharges from cathodes in respective sets from interfering with one another when cathodes in respective sets discharge simultaneously on receiving AC voltages. Voltages, from a plurality of AC cathode power supplies having the frequencies and phases of respective outputs synchronized, are applied to the plurality set of cathodes. Therefore, even when a plurality of cathodes disposed adjacently in the same chamber and respectively connected to different AC cathode power supplies start discharging at the same time, the discharges are free from unstable fluctuation.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de pulvérisation comprenant: un compartiment dans lequel un objet filmogène est disposé pour être mobile; une pluralité d'ensembles de cathodes disposées dans le compartiment, chaque ensemble comprenant deux cathodes de polarité inversée; et une pluralité de systèmes d'alimentation de cathodes en courant alternatif, connectés de manière individuelle à des ensembles respectifs de cathodes et ayant les fréquences et phases des sorties respectives synchronisées de manière à éviter aux décharges issues des cathodes dans les ensembles respectifs d'interférer les unes avec les autres lorsque les cathodes d'ensembles respectifs se déchargent simultanément à la réception des tensions alternatives. Les tensions, issues d'une pluralité de systèmes d'alimentation de cathodes en courant alternatif ayant les fréquences et les phases des sorties respectives synchronisées, sont appliquées à la pluralité d'ensembles de cathodes. Ainsi, même lorsqu'une pluralité de cathodes disposée de manière adjacente dans le même compartiment et respectivement connectées à différents système d'alimentation de cathodes en courant alternatif se déchargent simultanément, les décharges sont dépourvues de fluctuations instables.
États désignés : CN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)