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1. (WO2003014000) PRE-ALIGNEUR CAPABLE DE SAISIR LES COINS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/014000    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/025290
Date de publication : 20.02.2003 Date de dépôt international : 09.08.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.03.2003    
CIB :
H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING, INC. [US/US]; 377 University Avenue, Westwood, MA 02090 (US)
Inventeurs : MURRAY, Terry; (US).
WHITCOMB, Preston; (US)
Mandataire : LENTZ, Jerry, D.; Fish & Richardson P.C., 4350 La Jolla Village Drive, Suite 500, San Diego, CA 92122 (US)
Données relatives à la priorité :
60/311,290 09.08.2001 US
Titre (EN) EDGE GRIPPING PRE-ALIGNER
(FR) PRE-ALIGNEUR CAPABLE DE SAISIR LES COINS
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for holding and orienting a wafer (4) includes a movable robot arm (6), and an end effector (8) attached to an end of the robot arm (6), the end effector (8) including a gripping mechanism (12a-f) which during operation holds and rotates the wafer (4) about an axis that is perpendicular to the plane of the wafer (4), wherein the gripping mechanism (12a-f) comprises a first contacting member, and a second contacting member, and a drive member (12e, f) arranged to grip opposing edges of the wafer (4), and wherein the drive member (12a, f) comprises a first pair of rollers.
(FR)Un appareil permettant de retenir et d'orienter une plaquette comprend un bras de robot mobile et un effecteur terminal fixé à une extrémité du bras de robot, l'effecteur terminal comprenant un mécanisme de préhension qui, en fonctionnement, retient et fait tourner la plaquette autour d'un axe qui est perpendiculaire au plan de la plaquette, ledit mécanisme de préhension comprenant des premier et deuxième éléments de contact et un élément d'entraînement prévu pour saisir les bords opposés de la plaquette, ledit élément d'entraînement comprenant une première paire de rouleaux.
États désignés : DE, IL, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)