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1. (WO2003012567) REGLAGE DE LA TEMPERATURE DE SEGMENTS DE PAROI DE CHAMBRE A PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/012567    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/023207
Date de publication : 13.02.2003 Date de dépôt international : 19.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.11.2002    
CIB :
G05D 23/19 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107 (JP) (Tous Sauf US).
MITROVIC, Andrej [YU/US]; (US) (US Seulement).
LONG, Maolin [CN/CN]; (CN) (US Seulement).
MOROZ, Paul [US/US]; (US) (US Seulement).
FINK, Steven [US/US]; (US) (US Seulement).
JONES, William [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MITROVIC, Andrej; (US).
LONG, Maolin; (CN).
MOROZ, Paul; (US).
FINK, Steven; (US).
JONES, William; (US)
Mandataire : LAZAR, Dale, S.; Pillsbury Winthrop LLP, 1600 Tysons Boulevard McLean, VA 22102, 102 (US)
Données relatives à la priorité :
60/308,447 30.07.2001 US
Titre (EN) PLASMA CHAMBER WALL SEGMENT TEMPERATURE CONTROL
(FR) REGLAGE DE LA TEMPERATURE DE SEGMENTS DE PAROI DE CHAMBRE A PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)A device and method for controlling the temperature of a plasma chamber inside wall or other surfaces exposed to the plasma by a plurality of temperature control systems. A plasma process within the plasma chamber can be controlled by independently controlling the temperature of segments of the wall or other surfaces.
(FR)Dispositif et procédé de réglage de la température de la paroi intérieure d'une chambre à plasma ou d'autres surfaces exposées au plasma, par une pluralité de systèmes de réglage de la température. On peut commander un processus au plasma mis en oeuvre dans la chambre à plasma en réglant indépendamment la température de segments de la paroi ou d'autres surfaces.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)