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Paramétrages

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1. WO2003006216 - APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT DOTE DE PLUSIEURS TERMINAUX INDEPENDANTS

Numéro de publication WO/2003/006216
Date de publication 23.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/022476
Date du dépôt international 15.07.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 07.02.2003
CIB
B25J 9/04 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
02caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes
04par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
10caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
B25J 15/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
15Têtes de préhension
B25J 18/04 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
18Bras
02extensibles
04rotatifs
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
B25J 15/0052
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
15Gripping heads ; and other end effectors
0052multiple gripper units or multiple end effectors
B25J 18/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
18Arms
02extensible
04rotatable
B25J 9/042
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
02characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
04by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
041Cylindrical coordinate type
042comprising an articulated arm
B25J 9/1045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
10characterised by positioning means for manipulator elements
104with cables, chains or ribbons
1045comprising tensioning means
H01L 21/67742
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
67742Mechanical parts of transfer devices
Y10T 74/20305
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
74Machine element or mechanism
20Control lever and linkage systems
20207Multiple controlling elements for single controlled element
20305Robotic arm
Déposants
  • BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824, US
Inventeurs
  • GILCHRIST, Ulysses; US
Mandataires
  • GREEN, Clarence, A. ; Perman & Green, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06824, US
Données relatives à la priorité
10/196,06615.07.2002US
60/305,05213.07.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH MULTIPLE INDEPENDENT END EFFECTORS
(FR) APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT DOTE DE PLUSIEURS TERMINAUX INDEPENDANTS
Abrégé
(EN)
A substrate processing apparatus (10) comprising a frame (16), a drive section (42), an articulated arm (44), and at least one pair of end effectors (64, 66). The drive section (42) is connected to the frame (16). The articulated arm (44) is connected to the drive section (42). The articulated arm (44) has a shoulder (72) and a wrist. The arm (44) is pivotally mounted to the drive section (42) at the shoulder (72). The pair of end effectors (64, 66) is connected to the articulated arm (44). The pair of end effectors (64, 66) is pivotally jointed to the wrist of the articulated arm (44) to rotate relative to the articulated arm (44) about a common axis of rotation at the wrist. Each end effector (64, 66) is independently pivotable about the common axis of rotation of the wrist relative to the articulated arm (44).
(FR)
L'invention se rapporte à un appareil de traitement de substrat (10) comprenant un cadre (16), une section d'entraînement (42) et un bras articulé (44), ainsi qu'au moins une paire de terminaux (64,66). La section d'entraînement (42) est reliée au cadre (16) et le bras articulé (44) est relié à la section d'entraînement (42). Le bras articulé (44) est doté d'un épaulement (72) et d'un poignet. Le bras articulé (44) est installé pivotant sur la section d'entraînement (42) au niveau de l'épaulement (72). La paire de terminaux (64,66) est reliée au bras articulé (44). Cette paire de terminaux (64,66) est fixée pivotante au poignet du bras articulé (44) de manière à pivoter rotative par rapport au bras articulé (44) autour d'un axe commun de rotation au niveau du poignet. Chaque terminal (64,66) peut indépendamment pivoter autour d'un axe commun de rotation du poignet par rapport au bras articulé (44).
Également publié en tant que
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