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Paramétrages

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1. WO2003004966 - SYSTEME D'INTERFEROMETRIE ET PROCEDE UTILISANT UNE DIFFERENCE ANGULAIRE DE PROPAGATION ENTRE DES COMPOSANTS D'UN FAISCEAU ENTRANT POLARISES ORTHOGONALEMENT

Numéro de publication WO/2003/004966
Date de publication 16.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/020264
Date du dépôt international 26.06.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 03.02.2003
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
CPC
G01B 2290/70
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2290Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
70Using polarization in the interferometer
G01B 9/02003
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02001characterised by manipulating or generating specific radiation properties
02002Frequency variation
02003by using beat frequencies generated by mixing of two or more frequencies
G01B 9/02059
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02056Passive error reduction, i.e. not varying during measurement, e.g. by constructional details of optics
02059Reducing effect of parasitic reflections, e.g. cyclic errors
Déposants
  • ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448, US (AllExceptUS)
  • DE GROOT, Peter, J. [US/US]; US (UsOnly)
  • HILL, Henry, A. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • DE GROOT, Peter, J.; US
  • HILL, Henry, A.; US
Mandataires
  • FEIGENBAUM, David, L.; Fish & Richardson P.C. 225 Franklin Street Boston, MA 02110-2804, US
Données relatives à la priorité
10/174,14917.06.2002US
60/303,29906.07.2001US
60/322,95017.09.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) INTERFEROMETRY SYSTEM AND METHOD EMPLOYING AN ANGULAR DIFFERENCE IN PROPAGATION BETWEEN ORTHOGONALLY POLARIZED INPUT BEAM COMPONENTS
(FR) SYSTEME D'INTERFEROMETRIE ET PROCEDE UTILISANT UNE DIFFERENCE ANGULAIRE DE PROPAGATION ENTRE DES COMPOSANTS D'UN FAISCEAU ENTRANT POLARISES ORTHOGONALEMENT
Abrégé
(EN)
The invention features an interferometry system (100) that uses a small angular difference in the propagation directions of orthogonally polarized components of an input beam to an interferometer (110). The orthogonally polarized components define reference (173) and measurement (175) beams for the interferometer. The angular difference allows one to distinguish between the reference and measurement beam components of the input (170) beam and facilitates the suppression of at least some of the cyclic errors (190) caused by interferometer imperfections.
(FR)
L'invention concerne un système d'interférométrie (100) utilisant une petite différence angulaire dans les sens de propagation de composants polarisés orthogonalement appartenant à un faisceau entrant qui est destiné à un interféromètre (110). Les composants polarisés orthogonalement définissent des faisceaux de référence (173) et de mesure (175) qui sont destinés à l'interféromètre. La différence angulaire permet, d'une part, de différencier les composants d'un faisceau de référence (170) et de mesure du faisceau entrant et, d'autre part, de faciliter la suppression d'au moins certaines erreurs cycliques (190) provoquées par des imperfections de l'interféromètre.
Également publié en tant que
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