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Paramétrages

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1. WO2003003402 - MULTIPLEXAGE DE FILTRE D'ENERGIE

Numéro de publication WO/2003/003402
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/020529
Date du dépôt international 26.06.2002
CIB
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
CPC
H01J 2237/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
22Treatment of data
H01J 2237/2804
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
28Scanning microscopes
2803characterised by the imaging method
2804Scattered primary beam
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Déposants
  • KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; 160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809, US
Inventeurs
  • LORUSSO, Gian, Francesco; US
  • HORDON, Laurence, Stuart; US
  • GUBBENS, Sander, Jozef; US
  • MASNAGHETTI, Douglas, Keith; US
Mandataires
  • LEE, Phillip, P.; Beyer Weaver & Thomas, LLP P.O. Box 778 Berkeley, CA 94704-0778, US
Données relatives à la priorité
10/008,25309.11.2001US
60/302,14129.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ENERGY FILTER MULTIPLEXING
(FR) MULTIPLEXAGE DE FILTRE D'ENERGIE
Abrégé
(EN)
A scanning electron microscope (1020) for imaging a specimen (1057) uses a high pass energy filter (1032) which is set by applying different voltage levels to obtain different energy values (202, 204) corresponds to electrons detected and having energy within the range of different setting voltage levels, and a controller (1050) for comparing the detected electron intensities at different voltage levels.
(FR)
L'invention concerne un microscope électronique à balayage (1020) permettant de représenter un spécimen (1057), qui utilise un filtre d'énergie passe-haut (1032) réglé par application de différents niveaux de tension afin que des valeurs d'énergie différentes (202, 204) soient obtenues, ces valeurs correspondant aux électrons détectés qui présentent une énergie comprise dans la gamme des différents niveaux de tension de réglage; et une unité de commande (1050) qui permet de comparer les intensités d'électrons détectées pour des différents niveaux de tension.
Également publié en tant que
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