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Paramétrages

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1. WO2003003132 - AJUSTEMENT DE PARAMETRES DE REGLAGE DESTINE A REDUIRE LES VIBRATIONS ET A MAITRISER LE MOUVEMENT

Numéro de publication WO/2003/003132
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/018929
Date du dépôt international 12.06.2002
CIB
G05B 5/01 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
5Dispositions pour éliminer l'instabilité
01électriques
G05B 13/04 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
13Systèmes de commande adaptatifs, c. à d. systèmes se réglant eux-mêmes automatiquement pour obtenir un rendement optimal suivant un critère prédéterminé
02électriques
04impliquant l'usage de modèles ou de simulateurs
G05B 23/02 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
23Test ou contrôle des systèmes de commande ou de leurs éléments
02Test ou contrôle électrique
CPC
G05B 13/042
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
13Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
02electric
04involving the use of models or simulators
042in which a parameter or coefficient is automatically adjusted to optimise the performance
G05B 5/01
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
5Anti-hunting arrangements
01electric
Déposants
  • CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via del Campo Court San Diego, CA 92127-1712, US (AllExceptUS)
  • JACQUES, Robert, N. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • JACQUES, Robert, N.; US
Mandataires
  • ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Department-MS/1-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712, US
Données relatives à la priorité
09/896,68929.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TUNING CONTROL PARAMETERS FOR VIBRATION REDUCTION AND MOTION CONTROL
(FR) AJUSTEMENT DE PARAMETRES DE REGLAGE DESTINE A REDUIRE LES VIBRATIONS ET A MAITRISER LE MOUVEMENT
Abrégé
(EN)
The invention is directed to acquiring and processing parameters used to adjust and tune a controller (21) used, for example, to govern and compensate for motion, including vibrations and distrubances, in a physical system, such as a piece of manufacturing equipment (24). The invention may also be used to control, for example, a robot or other spatially dependent machine. Included in the invention are systems and methods for generating a controller (21), and for controlling motion in a physical system or apparatus.
(FR)
La présente invention concerne l'acquisition et le traitement de paramètres permettant d'ajuster et régler un contrôleur (21) utilisé, par exemple, pour régir et compenser les mouvements, y compris les vibrations et les perturbations, d'un système physique tel qu'une pièce d'équipement de fabrication (24). L'invention peut également être utilisée pour commander, par exemple, un robot ou une autre machine spatialement dépendante. L'invention se rapporte également à des systèmes et des procédés permettant de produire un contrôleur (21) et de régler les mouvements dans un système physique ou un appareil.
Également publié en tant que
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