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Paramétrages

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1. WO2003002988 - DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE A RESOLUTION LOCALE DE L'EPAISSEUR D'UNE COUCHE

Numéro de publication WO/2003/002988
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/EP2002/006401
Date du dépôt international 11.06.2002
CIB
G01J 3/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
02Parties constitutives
G01J 3/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
02Parties constitutives
06Systèmes de balayage
G01J 3/10 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
02Parties constitutives
10Aménagements de sources lumineuses spécialement adaptées à la spectrométrie ou à la colorimétrie
G01J 3/28 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
G01N 21/45 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
41Réfringence; Propriétés liées à la phase, p.ex. longueur du chemin optique
45en utilisant des méthodes interférométriques; en utilisant les méthodes de Schlieren
G01N 21/84 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
CPC
G01J 2003/064
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
06Scanning arrangements ; arrangements for order-selection
064Use of other elements for scan, e.g. mirror, fixed grating
G01J 3/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
G01J 3/10
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
10Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
G01J 3/2803
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
2803using photoelectric array detector
G01N 21/45
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
45using interferometric methods; using Schlieren methods
G01N 21/8422
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
8422Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
Déposants
  • CARL-ZEISS JENA GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena, DE (AllExceptUS)
  • GRÄFE, Dieter [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • KÜHNER, Martin [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • DOBSCHAL, Hans-Jürgen [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • GRÄFE, Dieter; DE
  • KÜHNER, Martin; DE
  • DOBSCHAL, Hans-Jürgen; DE
Mandataires
  • BREIT, Ulrich ; Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner Perhamerstrasse 31 80687 München, DE
Données relatives à la priorité
101 31 684.429.06.2001DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ORTSAUFGELÖSTEN MESSUNG EINER SCHICHTDICKE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR LOCAL RESOLUTION MEASUREMENT OF THE THICKNESS OF A LAYER
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE A RESOLUTION LOCALE DE L'EPAISSEUR D'UNE COUCHE
Abrégé
(DE)
Es ist vorgesehen, eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Messung der Dicke einer auf einem Probenträger (7) liegend befindlichen Schicht, mit einer Lichtquelle (1-3), die polychromatische Strahlung mit einer bestimmten Spektralverteilung abgibt, einer Beleuchtungsoptik (4-6), die den Probenträger (7) mit Strahlung der Lichtquelle (1-3) beleuchtet, einer Detektoroptik (6, 5, 8), die von einem linienförmigen Abschnitt des Probenträgers (7) reflektierte Strahlung aufnimmt und als linienförmiges Strahlbündel an einen Polychromator (9, 11) leitet, der das linienförmige Strahlbündel in ein feldförmiges Spektrum auftrennt, und einer Kamera (12), die das feldförmige Spektrum empfängt, wobei der Polychromator (9,11) auf die Spektralverteilung der Strahlung der Lichtquelle abgestimmt ist.
(EN)
A device for local resolution measurement of a layer on a sample carrier (7), comprising a light source(1-3) emitting polychromatic radiation having a specific spectral distribution, an illuminating optics system (4-6) which illuminates the sample carrier (7) with radiation from the light source (1-3), a detector optics system(6, 5, 8) which picks up radiation reflected by a linear section of the sample carrier (7) and guides it as a linear bundle of rays to a polychromator (9,11) which separates the linear bundle of rays into a field-shaped spectrum, and a camera (12) which receives the field-shaped spectrum. The polychromator (9,11) is tuned according to the spectral distribution of the radiation from the light source.
(FR)
Dispositif de mesure à résolution locale de l'épaisseur d'une couche déposée sur un support (7) d'échantillons, qui comporte une source de lumière (1-3) produisant un rayonnement polychromatique à répartition spectrale déterminée, un ensemble optique d'éclairage (4-6) qui éclaire le support (7) d'échantillons avec le rayonnement provenant de la source de lumière (1-3), un ensemble optique de détection (6, 5, 8) captant le rayonnement réfléchi par un segment linéaire du support (7) d'échantillons et guidant ce rayonnement en tant que faisceau de rayons linéaire vers un polychromateur (9, 11) qui sépare le faisceau de rayons linéaire en un spectre à configuration de champ, et une caméra (12) qui reçoit le spectre à configuration de champ, le polychromateur (9, 11) étant accordé à la répartition spectrale du rayonnement produit par la source de lumière.
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