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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2003002963 - MICROBOLOMETRES ET SON PROCEDE DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2003/002963
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/FR2002/002096
Date du dépôt international 18.06.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 25.11.2002
CIB
G01J 5/20 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
10en utilisant des détecteurs électriques de radiations
20en utilisant des éléments résistants, thermorésistants ou semi-conducteurs sensibles aux radiations
G01J 5/40 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
38en utilisant l'allongement ou la dilatation de solides ou de fluides
40en utilisant des éléments bimétalliques
CPC
G01J 5/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
G01J 5/023
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
023Particular leg structure or construction or shape; Nanotubes
G01J 5/024
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
024Special manufacturing steps or sacrificial layers or layer structures
G01J 5/0245
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
0245for performing thermal shunt
G01J 5/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
04Casings ; Mountings
G01J 5/046
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
04Casings ; Mountings
046Materials; Selection of thermal materials
Déposants
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 31/33, rue de la Fédération F-75752 Paris Cedex 15, FR (AllExceptUS)
  • VILAIN, Michel [FR/FR]; FR (UsOnly)
Inventeurs
  • VILAIN, Michel; FR
Mandataires
  • SANTARELLI; 14, avenue de la Grande Armée B.P. 237 F-75822 Paris Cedex 17, FR
Données relatives à la priorité
010855228.06.2001FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) MICROBOLOMETER AND METHOD FOR MAKING SAME
(FR) MICROBOLOMETRES ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé
(EN)
The invention concerns a microbolometer comprising a suspended part (2) containing radiation-sensitive elements and consisting of a set of first zones (2A) and a set of second zones (2B), the two sets being superimposed; furthermore, the materials constituting said zones (2A) and (2B) have thermal expansion coefficients sufficiently different for said suspended part (2) to be deformed under the effect of a rise in temperature to be urged into contact with the substrate (1) when the contact zone reaches a temperature Tc less than the destruction temperature Td of the microbolometer. The invention is applicable to radiation detectors comprising an assembly of such microbolometers, and to various appliances comprising at least such a radiation detector.
(FR)
La présente invention concerne un microbolomètre comportant une partie suspendue (2) contenant un élément sensible aux rayonnements et constituée d'un ensemble de premières zones (2A) et d'un ensemble de secondes zones (2B), les deux ensembles étant superposés; de plus, les matériaux constituant lesdites zones (2A) et (2B) possèdent des coefficients de dilatation thermique suffisamment différents pour que ladite partie suspendue (2) se déforme sous l'effet d'une élévation de température au point de venir au contact du substrat (1) lorsque la zone de contact atteint une température Tc inférieure à la température de destruction Td du microbolomètre. Application à des détecteurs de rayonnement comprenant un ensemble de tels microbolomètres, et à divers appareils comprenant au moins un tel détecteur de rayonnement.
Également publié en tant que
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