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Paramétrages

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1. WO2003002936 - APPAREIL ET PROCEDES DE CONTROLE OPTIQUE D'UNE EPAISSEUR

Numéro de publication WO/2003/002936
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/020516
Date du dépôt international 27.06.2002
CIB
G01B 11/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
G01B 11/30 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
CPC
G01B 11/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness, e.g. of sheet material
G01B 11/0691
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness, e.g. of sheet material
0691of objects while moving
G01B 11/306
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
306for measuring evenness
Déposants
  • MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; 77 Massachusetts Avenue Cambridge, MA 02139, US
Inventeurs
  • SHIRLEY, Lyle, G.; US
Mandataires
  • TURANO, Thomas, A.; Testa, Hurwitz & Thibeault, LLP High Street Tower 125 High Street Boston, MA 02110, US
Données relatives à la priorité
60/302,50829.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS AND METHODS FOR OPTICALLY MONITORING THICKNESS
(FR) APPAREIL ET PROCEDES DE CONTROLE OPTIQUE D'UNE EPAISSEUR
Abrégé
(EN)
In one aspect, the invention relates to an apparatus for monitoring thickness variations of an object having first and second opposing surfaces. The apparatus includes a first source positioned to project a first fringe pattern at a first location on the first surface and a second source positioned to project a second fringe pattern at a first location on the second surface. The apparatus further includes a first detector positioned to detect the first fringe pattern at the first location on the first surface, the first detector generating a first signal in response to the first fringe pattern at the first location. The apparatus also includes a second detector positioned to detect the second fringe pattern at the first location on the second surface, the second detector generating a second signal in response to the second fringe pattern at the first location. The apparatus further includes a processor adapted to calculate variations in the thickness of the object in response to the first and the second signals.
(FR)
L'invention concerne, dans un aspect, un appareil de contrôle des variations d'épaisseur d'un objet présentant un première et une seconde faces opposées. L'appareil comprend une première source disposée de façon à projeter un premier diagramme de franges sur un premier emplacement de la première face, et une seconde source disposée de façon à projeter un second diagramme de franges sur un premier emplacement de la seconde face. L'appareil comprend aussi un premier détecteur placé de façon à détecter le premier diagramme de franges projeté sur le premier emplacement de la première face, ledit premier détecteur émettant un premier signal en réponse au premier diagramme de franges projeté sur le premier emplacement. L'appareil comprend également un second détecteur placé de façon à détecter le second diagramme de franges projeté sur le premier emplacement de la seconde face, ledit second détecteur émettant un second signal en réponse au second diagramme de franges projeté sur le premier emplacement. L'appareil comprend en outre un processeur adapté pour calculer des variations de l'épaisseur de l'objet en réponse aux premier et second signaux.
Également publié en tant que
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