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Paramétrages

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1. WO2003002302 - PROCEDE ET APPAREIL DE DISTRIBUTION DE FLUIDE SUR UNE SURFACE DE POLISSAGE LORS D'UN POLISSAGE MECANIQUE ET CHIMIQUE

Numéro de publication WO/2003/002302
Date de publication 09.01.2003
N° de la demande internationale PCT/US2002/019581
Date du dépôt international 20.06.2002
CIB
B24B 37/04 2012.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
37Machines ou dispositifs de rodage; Accessoires
04conçus pour travailler les surfaces planes
B24B 57/02 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
24MEULAGE; POLISSAGE
BMACHINES, DISPOSITIFS OU PROCÉDÉS POUR MEULER OU POUR POLIR; DRESSAGE OU REMISE EN ÉTAT DES SURFACES ABRASIVES; ALIMENTATION DES MACHINES EN MATÉRIAUX DE MEULAGE, DE POLISSAGE OU DE RODAGE
57Dispositifs pour l'alimentation, l'application, le triage ou la récupération de produits de meulage, polissage ou rodage
02pour l'alimentation en produits de meulage, polissage ou rodage à l'état fluide, vaporisés, pulvérisés ou liquéfiés
CPC
B24B 37/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
04designed for working plane surfaces
B24B 37/16
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
37Lapping machines or devices; Accessories
11Lapping tools
12Lapping plates for working plane surfaces
16characterised by the shape of the lapping plate surface, e.g. grooved
B24B 57/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
24GRINDING; POLISHING
BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING
57Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
02for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
Déposants
  • SPEEDFAM-IPEC CORPORATION [US/US]; Attention: James L. Farmer, Esq. (480) 705-2668 305 North 54th Street Chandler, AZ 85226, US
Inventeurs
  • EATON, Robert, A.; US
Mandataires
  • FARMER, James, L.; SPEEDFAM-IPEC CORPORATION 305 North 54th Street Chandler, AZ 85226, US
Données relatives à la priorité
09/893,13127.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR DISTRIBUTING FLUID TO A POLISHING SURFACE DURING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE DISTRIBUTION DE FLUIDE SUR UNE SURFACE DE POLISSAGE LORS D'UN POLISSAGE MECANIQUE ET CHIMIQUE
Abrégé
(EN)
A fluid delivery system is provided for delivering a fluid to a polishing surface (904) of a chemical mechanical polishing tool. The system includes a platen (906,908), manifold (919) and slurry delivery conduit (920). The platen has a plurality of conduits (912) for allowing a fluid to pass to the polishing surface. The manifold, through the use of a plurality of channels (902), controls the fluid distribution to the conduits in the platen. The channel cross-sectional area at substantially every point is greater than, preferably 1.5 to 2 times, the combined cross-sectional area of all the conduits being serviced by the channel. This results in the conduits being the most restrictive feature and a uniform pressure within the manifold. However, the volume of the channels should also be reduced as this reduces the time necessary for a fluid change over. The slurry delivery conduit communicates fluid from a fluid source to the channels in the manifold. The invention relates also to a method of distributing a fluid across a polishing surface.
(FR)
L'invention concerne un système de distribution de fluide permettant de distribuer un fluide sur une surface de polissage (904) d'un outil de polissage mécanique et chimique. Ce système comprend un plateau (906, 908), un collecteur (919) et un conduit de distribution de boue (920). Le plateau présente une pluralité de conduits (912) permettant au fluide de passer sur la surface de polissage. Le collecteur, par le biais de l'utilisation d'une pluralité de canaux (902) commande la distribution du fluide jusqu'aux conduits du plateau. La zone de section de canal, au niveau de sensiblement tous ses points, est supérieure, de préférence, 1,5 à 2 fois, à la zone de section combinée de tous les conduits étant desservie par le canal. Il en résulte que les conduits constituent la caractéristique la plus restrictive et que la pression à l'intérieur du collecteur est uniforme. Néanmoins, le volume des canaux doit également être réduit pour permettre de réduire le temps nécessaire à un changement de fluide. Le conduit de distribution de boue communique du fluide à partir d'une source de fluide jusqu'aux canaux du collecteur. L'invention concerne également un procédé de distribution d'un fluide à travers une surface de polissage.
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