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Paramétrages

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1. WO2003001147 - INTERFEROMETRE A BALAYAGE POUR SURFACES ET FRONTS D'ONDES ASPHERIQUES

Numéro de publication WO/2003/001147
Date de publication 03.01.2003
N° de la demande internationale PCT/EP2002/006436
Date du dépôt international 12.06.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 27.12.2002
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01M 11/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
02Test des propriétés optiques
CPC
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 2290/65
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2290Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
65Spatial scanning object beam
G01B 9/02039
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02034characterised by particularly shaped beams or wavefronts
02038Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
02039by matching the wavefront with a particular object surface shape
G01B 9/02057
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
02056Passive error reduction, i.e. not varying during measurement, e.g. by constructional details of optics
02057by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
G01B 9/02072
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02055characterised by error reduction techniques
0207Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
02072by calibration or testing of interferometer
G01M 11/025
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0242by measuring geometrical properties or aberrations
025by determining the shape of the object to be tested
Déposants
  • KUECHEL, Michael [DE/DE]; DE
Inventeurs
  • KUECHEL, Michael; DE
Mandataires
  • COLE, David, John; Executive Liaison Services 43 Mount Felix Walton-on-Thames, Surrey KT12 2PJ, GB
Données relatives à la priorité
10/160,67203.06.2002US
60/299,61420.06.2001US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING INTERFEROMETER FOR ASPHERIC SURFACES AND WAVEFRONTS
(FR) INTERFEROMETRE A BALAYAGE POUR SURFACES ET FRONTS D'ONDES ASPHERIQUES
Abrégé
(EN)
Interferometric scanning method(s) and apparatus for measuring rotationally and non-rotationally symmetric test optics either having aspherical surfaces or that produce aspherical wavefronts by comparing known and unknown spherical and aspherical shapes. The test optic is aligned with respect the scanning axis and selectively moved along it relative to the known origin so that the spherical shape intersects the test optic at the apex of the aspherical shape and at radial positions where the spherical shape and the aspheric shape intersect at points of common tangency. An axial distance, &ngr;, and optical path length, p, are interferometrically measured as the test optic is axially scanned by the spherical shape where &ngr; is the distance by which the test optic is moved with respect to the origin and p is the optical path length difference between the apex of an aspherical shape associated with the test optic and the apex of the circles of curvature that intersect the aspherical shape at the common points of tangency. Coordinates of the aspherical surface are calculated wherever the circles of curvature have intersected the aspherical shape and in correspondence with the interferometrically measured distances, &ngr; and p.
(FR)
Cette invention se rapporte à un ou des procédés de balayage interférométrique et à un appareil correspondant, qui servent à mesurer des optiques de test à symétrie rotative et non rotative ayant des surfaces asphériques ou produisant des fronts d'ondes asphériques, par comparaison des formes sphériques et asphériques connues et inconnues. L'optique de test est alignée par rapport à l'axe de balayage et déplacée sélectivement le long de cet axe par rapport à l'origine connue, pour que la forme sphérique intersecte l'optique de test au niveau du sommet de la forme asphérique et dans des positions radiales où la forme sphérique et la forme asphérique s'intersectent en des points de tangence communs. Une distance axiale, $g(n), et une longueur de trajet optique, p, sont mesurées par interférométrie à mesure que l'optique de test est balayée axialement par la forme sphérique, $g(n) représentant la distance sur laquelle l'optique de test est déplacée par rapport à l'origine et p représentant la différence de longueur de trajet optique entre le sommet d'une forme asphérique associée à l'optique de test et le sommet des cercles de courbure qui intersectent la forme asphérique au niveau des points de tangence communs. Les coordonnées des surfaces asphériques sont calculées là où les cercles de courbure intersectent la forme asphérique et en correspondance avec les distances mesurées par interférométrie, $g(n) et p.
Également publié en tant que
RU2004105851
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