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1. (WO2002095808) ELEMENT DE SUPPORT DE SUBSTRAT LISSE A MULTIPLES PARTIES POUR CVD
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/095808    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/013993
Date de publication : 28.11.2002 Date de dépôt international : 02.05.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.12.2002    
CIB :
C03C 17/00 (2006.01), C23C 16/458 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : BAGLEY, William, A.; (US).
RAMIREZ, Ericka, M.; (US).
WOLGAST, Stephen, C.; (US)
Mandataire : TACKETT, Keith, M.; Moser, Patterson & Sheridan, LLP, 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
60/293,009 22.05.2001 US
09/963,020 24.09.2001 US
Titre (EN) SMOOTH MULTIPART SUBSTRATE SUPPORT MEMBER FOR CVD
(FR) ELEMENT DE SUPPORT DE SUBSTRAT LISSE A MULTIPLES PARTIES POUR CVD
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for supporting a glass substrate is provided. In one embodiment, a substrate support (50) is provided having a base structural member (52) and an upper top portion (54) having a surface thereon adapted to minimize friction and/or chemical reactions between the substrate support and a glass substrate supported thereon. The substrate supports may be utilized in various chambers such as load locks chamber and chambers having thermal processes.
(FR)L'invention porte sur un appareil permettant de supporter un substrat de verre. Selon un mode de réalisation, le support (50) présente un élément structural de base (52) et une partie supérieure (54) comportant une surface conçue pour minimiser le frottement et/ou les réactions chimiques intervenant entre le support et un substrat de verre le recouvrant. Les supports peuvent être utilisés dans différentes chambres, notamment des chambres de verrouillage de charge et des chambres dotées de processus thermiques.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)