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1. (WO2002093122) ENSEMBLE CAPTEUR, NOTAMMENT ENSEMBLE CAPTEUR MICROMECANIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/093122    N° de la demande internationale :    PCT/DE2002/001452
Date de publication : 21.11.2002 Date de dépôt international : 19.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    03.12.2002    
CIB :
B81B 7/00 (2006.01), B81B 7/02 (2006.01), G01P 1/02 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (Tous Sauf US).
RUDHARD, Joachim [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HEYERS, Klaus [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : RUDHARD, Joachim; (DE).
HEYERS, Klaus; (DE)
Données relatives à la priorité :
101 23 039.7 11.05.2001 DE
Titre (DE) SENSORANORDNUNG, INSBESONDERE MIKROMECHANISCHE SENSORANORDNUNG
(EN) SENSOR ARRANGEMENT, IN PARTICULAR MICRO-MECHANICAL SENSOR ARRANGEMENT
(FR) ENSEMBLE CAPTEUR, NOTAMMENT ENSEMBLE CAPTEUR MICROMECANIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung schafft eine Sensoranordnung (1), insbesondere eine mikromechanische Sensoranordnung (1), und Verfahren zur Herstellung derselben, mit einem Sensorabschnitt (2) zum Liefern bestimmter Sensorsignale; und einem Deckelabschnitt (3), der auf dem Sensorabschnitt (2) zum Bilden eines hermetisch abgeschlossenen Sensorinnenraumes (4) angeordnet ist, wobei eine Auswerteelektronikeinrichtung (30) zumindest teilweise in dem Deckelabschnitt (3) für eine Auswertung der Sensorsignale integrierbar und elektrisch mit einer entsprechenden Schaltungseinrichtung (20) des Sensorabschnitts (2) verbindbar ist.
(EN)The invention relates to a sensor arrangement (1), in particular a micro-mechanical sensor arrangement (1) and method for production thereof, comprising a sensor section (2), for delivering determined sensor signals and a cover section (3), arranged on the sensor section (2) to form a hermetically sealed inner sensor chamber (4). An analytical electronic device (30) may be integrated at least partly in the cover section (3) for an analysis of the sensor signals and may be connected electrically to a corresponding circuit device (20) in the sensor section (2).
(FR)L'invention concerne un ensemble capteur (1), notamment un ensemble capteur micromécanique (1), et des procédés pour la production de cet ensemble capteur. L'ensemble capteur selon l'invention comprend une partie capteur (2) servant à fournir des signaux de capteur donnés, ainsi qu'une partie couvercle (3) placée sur la partie capteur (2) pour former un espace intérieur de capteur (4) hermétiquement fermé. Selon l'invention, un dispositif électronique d'évaluation (30) peut être intégré au moins partiellement dans la partie couvercle (3) afin d'évaluer les signaux de capteur et peut être relié électriquement à un circuit correspondant (20) de la partie capteur (2).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)