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1. (WO2002091458) PROCEDE RELATIF A L'ELABORATION DE MANDRINS ELECTROSTATIQUES ET PROCEDE RELATIF A L'ELABORATION D'ELEMENTS CHAUFFANTS EN CERAMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/091458    N° de la demande internationale :    PCT/JP2001/003679
Date de publication : 14.11.2002 Date de dépôt international : 27.04.2001
CIB :
H01C 17/065 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01), H05B 3/14 (2006.01)
Déposants : IBIDEN CO., LTD. [JP/JP]; 1, Kandacho 2-chome Ogaki-shi, Gifu 503-0917 (JP) (Tous Sauf US).
HIRAMATSU, Yasuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ITO, Yasutaka [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HIRAMATSU, Yasuji; (JP).
ITO, Yasutaka; (JP)
Mandataire : YASUTOMI, Yasuo; Chuo BLDG. 4-20, Nishinakajima 5-chome, Yodogawa-ku Osaka-shi, Osaka 532-0011 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD OF PRODUCING ELECTROSTATIC CHUCKS AND METHOD OF PRODUCING CERAMIC HEATERS
(FR) PROCEDE RELATIF A L'ELABORATION DE MANDRINS ELECTROSTATIQUES ET PROCEDE RELATIF A L'ELABORATION D'ELEMENTS CHAUFFANTS EN CERAMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method of producing electrostatic chucks or ceramic heaters, wherein the chucking force of the produced electrostatic chuck or the heating value of the ceramic heater does not locally vary, making it possible to uniformly attract or uniformly heat semiconductor wafers, characterized by comprising the steps of printing a conductive paste for electrodes or an electrically conductive paste for heating resistors on a green sheet whose surface roughness is 200 $g(m)m or less in terms of Rmax, then stacking another green sheet on the first-mentioned green sheet to form a laminated body, and sintering the same.
(FR)L'invention concerne un procédé relatif à l'élaboration de mandrins électrostatiques ou d'éléments chauffants en céramique. La force du mandrin et la chaleur de l'élément chauffant ne varient pas localement, ce qui permet respectivement d'attirer ou de chauffer de façon uniforme les plaquettes de semiconducteur. On imprime une pâte conductrice pour électrodes ou bien une pâte conductrice pour le chauffage de résistances, sur une feuille verte dont la rugosité de surface est inférieure ou égale à 200$g(m)m, en termes de Rmax, puis on empile une autre feuille verte sur la première feuille verte, de manière à former un corps laminé, et on soumet ce corps au frittage.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)