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1. (WO2002090880) REDUCTION D'ARTEFACTS COHERENTS DANS UN INTERFEROMETRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/090880    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/003169
Date de publication : 14.11.2002 Date de dépôt international : 21.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    02.12.2002    
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01J 9/02 (2006.01)
Déposants : KUECHEL, Michael [DE/DE]; (DE)
Inventeurs : KUECHEL, Michael; (DE)
Mandataire : COLE, David, John; Executive Liaison Services, 43 Mount Felix, Walton-on-Thames, Surrey KT12 2PJ (GB)
Données relatives à la priorité :
101 21 516.9 03.05.2001 DE
10/053,741 22.01.2002 US
Titre (EN) REDUCING COHERENT ARTIFACTS IN AN INTERFEROMETER
(FR) REDUCTION D'ARTEFACTS COHERENTS DANS UN INTERFEROMETRE
Abrégé : front page image
(EN)The invention provides interferometric apparatus and methods for reducing the effects of coherent artifacts in interferometers. Fringe contrast in interferograms is preserved while coherent artifacts that would otherwise be present in the interferogram because of coherent superposition of unwanted radiation generated in the interferogram are suppressed. Use is made of illumination and interferogrammetric imaging architectures that generate individual interferograms of the selected characteristics of a test surface from the perspective of different off-axis locations of illumination in an interferometer and then combine them to preserve fringe contrast while at the same time arranging for artifacts to exist at different field locations so that their contribution to the combined interferogram is diluted.
(FR)L'invention concerne un appareil interférométrique et des procédés permettant de réduire les effets d'artefacts cohérents dans des interféromètres. On préserve un contraste de franges dans des interférogrammes tout en supprimant les artefacts cohérents, qui autrement seraient présents dans lesdits interférogrammes du fait la superposition cohérente d'un rayonnement indésirable généré dans cet interférogramme. On utilise des architectures d'éclairement et de formation d'images interférogrammétriques générant des interférogrammes individuels des caractéristiques sélectionnées d'une surface d'essai à partir de la perspective de différentes implantations d'éclairement hors axe dans un interféromètre, puis on combine lesdits interférogrammes afin de préserver un contraste de franges tout en s'arrangeant simultanément pour que des artefacts existent au niveau de différentes implantations de champ de sorte que leur contribution aux interférogrammes combinés est atténuée.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)