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1. (WO2002089530) DISPOSITIF CHAUFFANT EN CERAMIQUE EQUIPE D'ELEMENTS CHAUFFANTS ET PROCEDE D'UTILISATION CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/089530    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/013495
Date de publication : 07.11.2002 Date de dépôt international : 01.05.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    13.08.2002    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H05B 3/14 (2006.01), H05B 3/28 (2006.01)
Déposants : SAINT-GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC. [US/US]; 1 New Bond Street, Box Number 15138, Worcester, MA 01615-0138 (US)
Inventeurs : DIVAKAR, Ramesh; (US).
LIN, Roger, J.; (US).
ZANDI, Morteza; (US).
LACOURSE, Brian, C.; (US).
VARTABEDIAN, Ara, M.; (US).
KUTSCH, Jeffrey, J.; (US)
Mandataire : CROSBY, Mike, W.; Saint-Gobain Corporation, 1 New Bond Steet, Box Number 15138, Worcester, MA 01615-0138 (US)
Données relatives à la priorité :
09/847,747 02.05.2001 US
Titre (EN) CERAMIC HEATER WITH HEATER ELEMENT AND METHOD FOR USE THEREOF
(FR) DISPOSITIF CHAUFFANT EN CERAMIQUE EQUIPE D'ELEMENTS CHAUFFANTS ET PROCEDE D'UTILISATION CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(EN)A ceramic heater (10) for use as a platform or support in producing a semiconductor wafer (14) is described. In a exemplary embodiment, the heater is made from a ceramic compound which has a thermally conductive ceramic layer (12) and a ceramic heater element (16). The thermally conductive ceramic layer (12) is aluminum nitride doped with oxygen at such a level that it promotes thermal conductivity. The heater (10) may also have a thermally insulative ceramic layer (18) comprised of a mixture of aluminum nitride with a dopant at a level that makes the aluminum nitride thermally insulating. The heater element (16) may be embedded within the ceramic chuck in a variety of shapes and configurations. The heating element (16) is about 5% to about 50% by weight molybdenum disilicide, about 5% to about 40% by weight silicon carbide and about 15% to about 70% by weight aluminum nitride.
(FR)L'invention concerne un dispositif chauffant en céramique (10) s'utilisant en tant que plate-forme ou support dans la production d'une plaquette à semi-conducteur (14). Dans un mode de réalisation exemplaire, le dispositif chauffant est fabriqué à partir d'un composé en céramique revêtu d'une couche en céramique thermoconductrice (12) et d'un élément chauffant en céramique (16). La couche en céramique thermoconductrice (12) consiste en du nitrure d'aluminium dopé d'oxygène dans une concentration telle qu'il favorise la conductivité thermique. Le dispositif chauffant (10) peut également comprendre une couche en céramique thermo-isolante (18) constituée d'un mélange de nitrure d'aluminium avec un dopant dans une concentration rendant le nitrure d'aluminium thermo-isolant. L'élément chauffant (16) peut être encastré dans le mandrin céramique dans une variété de formes et de configurations. Cet élément chauffant (16) comprend entre environ 5 % et 50 % en poids de disiliciure de molybdène, environ 5 à 40 % en poids de carbure de silicium et environ 15 à 70 % en poids de nitrure d'aluminium.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)