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1. (WO2002086956) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE MICROSTRUCTURE PAR MICRO-USINAGE DE SURFACES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/086956    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/012627
Date de publication : 31.10.2002 Date de dépôt international : 22.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.10.2002    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/302 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/461 (2006.01)
Déposants : MEMX, INC. [US/US]; 5600 Wyoming Boulevard, NE, Suite 20, Albuquerque, NM 87109 (US)
Inventeurs : SNIEGOWSKI, Jeffry, J.; (US).
RODGERS, M., Steven; (US)
Mandataire : JOHNSON, James, L.; Marsh Fischmann & Breyfogle, LLP, 3151 South Vaughn Way, Suite 411, Aurora, CO 80014 (US)
Données relatives à la priorité :
09/840,716 23.04.2001 US
Titre (EN) METHOD FOR MAKING A MICROSTRUCTURE BY SURFACE MICROMACHINING
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE MICROSTRUCTURE PAR MICRO-USINAGE DE SURFACES
Abrégé : front page image
(EN)Various methods for forming surface micromachined microstructures are disclosed. One aspect relates to executing surface micromachining operation to structurally reinforce (230/210/214) at least one structural layer (226) in a microstructure (180). Another aspect relates to executing the surface micromachining operation to form a plurality of at least generally laterally extending etch release channels (270) within a sacrificial material (274) to facilitate the release of the corresponding microstructure (232).
(FR)L'invention concerne divers procédés de fabrication de microstructures à surfaces micro-usinées. Dans un mode de réalisation, on réalise l'opération de micro-usinage de surfaces afin de renforcer structurellement (230/210/214) au moins une couche structurelle (226) d'une microstructure (180). Dans un autre mode de réalisation, on réalise ladite opération afin de former au moins plusieurs canaux (270) de libération de gravure s'étendant en général latéralement dans un matériau sacrificiel (274), ce qui facilite la libération de la microstructure correspondante (232).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)