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1. (WO2002086582) FILTRES DE FABRY-PEROT ACCORDABLES BASES SUR DES SYSTEMES MICROELECTROMECANIQUES (MEMS) ET PROCEDES DE FABRICATION CORRESPONDANTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/086582    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/012496
Date de publication : 31.10.2002 Date de dépôt international : 22.04.2002
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), B81C 3/00 (2006.01), G02B 6/12 (2006.01), G02B 6/35 (2006.01), G02B 6/36 (2006.01), G02B 6/42 (2006.01), G02B 26/00 (2006.01), G02B 26/02 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01)
Déposants : SOLUS MICRO TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 5706 Corsa Avenue, Suite 100 Westlake Village, CA 91362 (US) (Tous Sauf US).
LITTLE, Michael, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
POLLOCK, Ron [US/US]; (US) (US Seulement).
VINOKUR, Roman [US/US]; (US) (US Seulement).
LI, Ping [US/US]; (US) (US Seulement).
STAINES, Sean [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
RAYNER, Phillip [GB/GB]; (GB) (US Seulement).
CHI, Robert [--/US]; (US) (US Seulement).
LYON, John, J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LITTLE, Michael, J.; (US).
POLLOCK, Ron; (US).
VINOKUR, Roman; (US).
LI, Ping; (US).
STAINES, Sean; (GB).
RAYNER, Phillip; (GB).
CHI, Robert; (US).
LYON, John, J.; (US)
Mandataire : FLESHNER, Mark, L.; Fleshner & Kim, LLP P.O. Box 221200 Chantilly, VA 20153-1200 (US)
Données relatives à la priorité :
60/284,943 20.04.2001 US
60/303,772 10.07.2001 US
10/085,143 01.03.2002 US
Titre (EN) MEMS-BASED TUNABLE FABRY-PEROT FILTERS AND METHOD OF FORMING SAME
(FR) FILTRES DE FABRY-PEROT ACCORDABLES BASES SUR DES SYSTEMES MICROELECTROMECANIQUES (MEMS) ET PROCEDES DE FABRICATION CORRESPONDANTS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides a MEMS-based tunable Fabry-Perot filter (100) that is more reliable, more cost effective and exhibits better performance than prior art tunable optical filters.
(FR)L'invention concerne un filtre de Fabry-Pérot accordable basé sur des systèmes MEMS (100) plus fiables, moins coûteux et présentant une meilleure performance que les filtres optiques accordables de l'art antérieur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)