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1. (WO2002086579) MICROSCOPE DE CONTROLE POUR PLUSIEURS GAMMES DE LONGUEURS D'ONDE ET COUCHE ANTIREFLET DESTINEE A UN MICROSCOPE DE CONTROLE POUR PLUSIEURS GAMMES DE LONGUEURS D'ONDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/086579    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/003217
Date de publication : 31.10.2002 Date de dépôt international : 22.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    02.11.2002    
CIB :
G02B 1/11 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), G02B 21/06 (2006.01), G02B 21/16 (2006.01)
Déposants : LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH [DE/DE]; Postfach 20 40, 35578 Wetzlar (DE) (Tous Sauf US).
EISENKRÄMER, Frank [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : EISENKRÄMER, Frank; (DE)
Données relatives à la priorité :
101 19 909.0 23.04.2001 DE
Titre (DE) INSPEKTIONSMIKROSKOP FÜR MEHRERE WELLENLÄNGENBEREICHE UND REFLEXIONSMINDERUNGSSCHICHT FÜR EIN INSPEKTIONSMIKROSKOP FÜR MEHRERE WELLENLÄNGENBEREICHE
(EN) INSPECTION MICROSCOPE FOR SEVERAL WAVELENGTH RANGES AND REFLECTION REDUCING LAYER FOR AN INSPECTION MICROSCOPE FOR SEVERAL WAVELENGTH RANGES
(FR) MICROSCOPE DE CONTROLE POUR PLUSIEURS GAMMES DE LONGUEURS D'ONDE ET COUCHE ANTIREFLET DESTINEE A UN MICROSCOPE DE CONTROLE POUR PLUSIEURS GAMMES DE LONGUEURS D'ONDE
Abrégé : front page image
(DE)Es wird ein Inspektionsmikroskop für mehrere Wellenlängenbereiche mit mindestens einem Beleuchtungsstrahlengang und mindestens einem Abbildungsstrahlengang angegeben. Diejenigen optischen Bauelemente im Beleuchtungsstrahlengang und im Abbildungsstrahlengang, die von Strahlen aller Wellenlängenbereiche durchstrahlt werden, sind mit einer Reflexionsminderungsschicht belegt, bei welcher die reflexionsgeminderten Wellenlängenbereiche der sichtbare VIS- Wellenlängenbereiche bis 650 nm, die i-Linie bei $g(l)=365 nm und der ultraviolette DUV- Wellenlängenbereich von 240 nm bis 270 nm sind. Die Reflexionsminderungsschicht weist eine Sandwichstruktur auf, die aus verschiedenen Materialienkombinationen, wie beispielsweise M2/MgF¿2? oder M2/MgF¿2?/SiO¿2? oder M2/MgF¿2?/Al¿2?O¿3? besteht. Dabei ist M2 eine Mischsubstanz der Fa. Merck, welche aus La¿2?O¿3?.3,3 Al¿2?O¿3? besteht. Die reflexgeminderten optischen Bauelemente bestehen vorzugsweise aus Quarzglas oder aus CaF¿2?.
(EN)An inspection microscope for several wavelength ranges with at least one illuminating beam path and at least one imaging beam path is disclosed. Those optical elements in the illuminating beam path and in the imaging beam path, through which beams of all wavelengths pass, are provided with a reflection reducing layer, by means of which the wavelength ranges with reduced reflection are the visible VIS-wavelength range up to 650 nm, the i-lines at $g(l)=365 nm and the ultraviolet DUV- wavelength range from 240 nm to 270 nm. The reflection reducing layer is a sandwich structure, comprising various material combinations, such as for example, M2/MgF¿2? or M2/MgF¿2?/SiO¿2? or M2/MgF¿2?/Al¿2?O¿3?, where M2 is a mixed substance from the company Merck, comprising La¿2?O¿3?.3,3 Al¿2?O¿3?. The optical components with reduced reflectance preferably comprise quartz glass or CaF¿2?.
(FR)L'invention concerne un microscope de contrôle destiné à plusieurs gammes de longueurs d'onde et comprenant au moins un faisceau d'éclairage et au moins un faisceau de reproduction. Les composants optiques dans le faisceau d'éclairage et dans le faisceau de reproduction qui sont traversés par des rayons de toutes les gammes de longueurs d'onde sont recouverts d'une couche antireflet pour laquelle les gammes de longueurs d'onde à réflexion réduite sont la gamme de longueurs d'onde visible du domaine de la visibilité (VIS) jusqu'à 650 nm, la ligne i pour $g(l)=365 nm et la gamme de longueur d'onde ultraviolette de l'ultraviolet profond (DUV) de 240 nm à 270 nm. La couche antireflet a une structure en sandwich, constituée de différentes combinaisons de matériaux, comme par exemple M2/MgF¿2?, M2/MgF¿2?/SiO¿2? ou M2/MgF¿2?/Al¿2?O¿3?, M2 étant une substance mélangée de la société Merck, constituée de La¿2?O¿3?.3,3 Al¿2?O¿3?. Les composants optiques antireflet sont constitués de préférence de verre de quartz ou de CaF¿2?.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)