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1. (WO2002086187) APPAREIL UTILE POUR DEPOSER DES COUCHES DE METAL OU D'OXYDE METALLIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/086187    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/004243
Date de publication : 31.10.2002 Date de dépôt international : 17.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    25.10.2002    
CIB :
C23C 14/50 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), H01L 39/24 (2006.01)
Déposants : N.V. BEKAERT S.A. [BE/BE]; Bekaertstraat 2, B-8550 Zwevegem (BE) (Tous Sauf US).
DENUL, Jurgen [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
DE GRYSE, Roger [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
SEGERS, Anneke [BE/BE]; (BE) (US Seulement).
LIEVENS, Hugo [BE/BE]; (BE) (US Seulement)
Inventeurs : DENUL, Jurgen; (BE).
DE GRYSE, Roger; (BE).
SEGERS, Anneke; (BE).
LIEVENS, Hugo; (BE)
Données relatives à la priorité :
01201428.8 20.04.2001 EP
Titre (EN) APPARATUS FOR THE DEPOSITION OF METAL OR METAL OXIDE COATINGS
(FR) APPAREIL UTILE POUR DEPOSER DES COUCHES DE METAL OU D'OXYDE METALLIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an apparatus for the deposition of a metal or a metal oxide coating on a substrate. The apparatus comprises a holding system for at least one substrate and a housing surrounding the holding system and provided with a heating system. The holding system is mounted in such a way that it can be rotated inside the housing. The apparatus is in particular suitable to deposit superconducting metal oxide coatings.
(FR)La présente invention concerne un appareil qui permet de déposer une couche de revêtement en métal ou en oxyde métallique sur un substrat. L'appareil comprend un système de support prévu pour supporter au moins un substrat et un boîtier entourant le système de support et pourvu d'un système de chauffage. Le système de support est installé de telle sorte qu'il puisse tourner à l'intérieur du boîtier. L'appareil est tout particulièrement adapté pour déposer des couches d'oxyde métallique supraconducteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)