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1. (WO2002084753) MICRO-ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/084753    N° de la demande internationale :    PCT/KR2002/000701
Date de publication : 24.10.2002 Date de dépôt international : 17.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    13.11.2002    
CIB :
G02B 26/08 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01)
Déposants : M2N INC. [KR/KR]; 306 Korea University Alumni Hall, Jongam 1-dong, Seongbuk-gu, 136-712 Seoul (KR) (Tous Sauf US).
HWANG, Kyu-Ho [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : HWANG, Kyu-Ho; (KR)
Mandataire : JANG, Seong Ku; 17th Fl., KEC Building, 275-7, Yangjae-dong, Seocho-ku, 137-130 Seoul (KR)
Données relatives à la priorité :
PCT/KR01/00632 17.04.2001 KR
Titre (EN) MICRO PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND METHOD FOR FABRICATING SAME
(FR) MICRO-ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
Abrégé : front page image
(EN)There is provided a micro piezoelectric actuator, an optical switching device including the micro piezoelectric actuator and a method for fabricating the same. The optical switching device includes a mirror, a first actuator for adjusting the tilt angle of the mirror on the X axis, a second actuator for adjusting the tilt angles of the mirror and the first actuator on the Y axis and a driving substrate for applying a driving signal to the first and second actuators. Each of the actuators has membranes, a piezoelectric device formed on each of the membranes and a connecting part having two elastic bodies coupled to the membranes and a connecting member coupled between the two elastic bodies. In this way, the optical switching device can tilt the mirror on the X axis independently from the tilting thereof on the Y axis.
(FR)La présente invention concerne un micro-actionneur piézo-électrique, un dispositif de commutation optique comprenant ce micro-actionneur piézo-électrique, ainsi qu'un procédé pour produire ce micro-actionneur piézo-électrique. Ledit dispositif de commutation optique comprend un miroir, un premier actionneur permettant de régler l'angle d'inclinaison du miroir sur l'axe X, un second actionneur permettant de régler les angles d'inclinaison du miroir et du premier actionneur sur l'axe Y, ainsi qu'un substrat de commande permettant d'appliquer un signal de commande aux premier et second actionneurs. Chacun de ces actionneurs présente des membranes, un dispositif piézo-électrique monté sur chaque membrane et une pièce de connexion présentant deux corps élastiques connectés aux membranes et un élément de connexion connecté entre les deux corps élastiques. Le dispositif de commutation optique selon cette invention peut ainsi incliner le miroir sur l'axe X indépendamment de l'inclinaison de celui-ci sur l'axe Y.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)