WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2002084700) REGULATION DE PLASMA A COUPLAGE INDUCTIF PAR UN MATERIAU MAGNETIQUE EXTERIEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/084700    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/010547
Date de publication : 24.10.2002 Date de dépôt international : 02.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.10.2002    
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538-6470 (US) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NL, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW only).
NISHIDA, Takumasa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAKAJIMA, Shu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
BENJAMIN, Neil [US/US]; (US) (US Seulement).
PERRY, Andrew [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : NISHIDA, Takumasa; (JP).
NAKAJIMA, Shu; (JP).
BENJAMIN, Neil; (US).
PERRY, Andrew; (US)
Mandataire : RITCHIE, David, B.; Thelen Reid & Priest, LLP, P.O. Box 640640, San Jose, CA 95164-0640 (US)
Données relatives à la priorité :
09/834,749 12.04.2001 US
Titre (EN) INDUCTIVELY COUPLED PLASMA CONTROL WITH EXTERNAL MAGNETIC MATERIAL
(FR) REGULATION DE PLASMA A COUPLAGE INDUCTIF PAR UN MATERIAU MAGNETIQUE EXTERIEUR
Abrégé : front page image
(EN)A plasma reactor for processing a substrate in a plasma has a dielectric window disposed in a wall of a chamber. An RF antenna coil (402) is disposed outside of the chamber and adjacent to the window. A magnetic core (420) is disposed outside of the chamber and adjacent to the coil. The magnetic core comprises a material having a magnetic dipole moment in a range of about 10$g(m) to about 1000$g(m). The magnetic core comprises a ferrite material that surrounds at least a portion of the coil. The position of the magnetic core relative to the dielectric window can be adjusted.
(FR)L'invention concerne un réacteur à plasma, destiné au traitement d'un substrat dans un plasma, comportant une fenêtre diélectrique disposée dans la paroi d'une enceinte. Une bobine d'antenne RF (402) est disposée à l'extérieur de l'enceinte, adjacente à la fenêtre. Un noyau magnétique (420) est disposé à l'extérieur de l'enceinte, adjacent à la bobine. Le noyau magnétique comprend un matériau possédant un moment de dipôle magnétique compris entre 10$g(m) et environ 1000$g(m). Le noyau magnétique comporte aussi un matériau en ferrite qui entoure au moins une portion de la bobine. Il est possible de régler la position du noyau magnétique par rapport à la fenêtre diélectrique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)