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1. (WO2002084696) GENERATEUR DE FAISCEAU D'ELECTRON ET ALIGNEUR DE FAISCEAU D'ELECTRONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/084696    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/003656
Date de publication : 24.10.2002 Date de dépôt international : 12.04.2002
CIB :
H01J 37/24 (2006.01)
Déposants : ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho Nerima-ku, Tokyo 179-0071 (JP) (Tous Sauf US).
SATOH, Takamasa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OOAE, Yoshihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SATOH, Takamasa; (JP).
OOAE, Yoshihisa; (JP)
Mandataire : RYUKA, Akihiro; 6F, Toshin Building 24-12, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2001-115008 13.04.2001 JP
Titre (EN) ELECTRON BEAM GENERATOR AND ELECTRON BEAM ALIGNER
(FR) GENERATEUR DE FAISCEAU D'ELECTRON ET ALIGNEUR DE FAISCEAU D'ELECTRONS
Abrégé : front page image
(EN)An electron beam generator and an electron beam aligner comprise a current sensing section (16), a voltage source (24), and a control section (18) for sensing an emission current flowing through a cathode (10) and varying a voltage to be impressed on a grid (20) on the basis of a change in the emission current and a self-bias resistor (22) for varying the potential of the grid (20) to the potential of the cathode (10) by a voltage drop due to the emission current. The control section (18) controls the voltage source (24) so as to suppress the variation of the emission current. Thus, it is possible to stabilize the emission current by the self-bias resistor (22) and the voltage source (24) and to suppress and precisely control a variation in the current quantity of an electron beam.
(FR)La présente invention concerne un générateur de faisceau d'électrons et un aligneur de faisceau d'électron comprenant un détecteur de courant (16), une source de tension (24) et un contrôleur (18) chargé de sonder un courant d'émission traversant une cathode et de faire varier une tension devant s'imprimer sur une grille (20) sur la base d'une variation de courant d'émission, ainsi qu'une résistance autopolarisée (22) servant à faire chuter le potentiel de grille (20) au niveau du potentiel de cathode sous l'effet du courant d'émission. Le contrôleur (18) commande la source de tension (24) de façon à supprimer la variation du courant d'émission. Il est ainsi possible de faire stabiliser le courant d'émission par la résistance autopolarisée (22) et la source de tension (24) et de supprimer et de commander avec précision une variation de la quantité de courant d'un faisceau d'électrons.
États désignés : DE, JP, KR, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)