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1. (WO2002084422) SYSTEME ET PROCEDE DE PARTAGE D'UN ECOULEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/084422    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/050374
Date de publication : 24.10.2002 Date de dépôt international : 31.12.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.09.2002    
CIB :
G05D 11/13 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Six Shattuck Road, Andover, MA 01810 (US)
Inventeurs : TAYLOR, Matthew, Thomas; (US).
HALLAHAN, John, Christopher; (US).
CLARK, William, R.; (US)
Mandataire : KUSMER, Toby, H.; McDermott, Will & Emery, 28 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
09/836,748 17.04.2001 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR DIVIDING FLOW
(FR) SYSTEME ET PROCEDE DE PARTAGE D'UN ECOULEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A system (100) for dividing a single flow of gas into two or more secondary flows of known, precise values, without requiring a high upstream pressure. The system includes an inlet (12) for receiving the single gas flow, and first and second flow lines (14, 16) connected to the inlet (12). A mass flow meter (18) measures gas flow through the first line (14) and provides a signal indicative of the measured flow rate. A restrictor (28) restricts gas flow through the first line (14) to a desired flow rate, and has a smallest cross-sectional flow area selected to provide an upstream pressure high enough to allow the mass flow meter to operate properly and lower than a predetermined upper pressure limit. A mass flow controller (28) receives the signal indicative of the measured flow rate from the mass flow meter (18) and maintains a flow rate through the second line based on the signal.
(FR)L'invention concerne un système permettant de partager un écoulement de gaz en au moins deux écoulements secondaires de valeurs précises connues, sans utiliser une pression amont élevée. Le système décrit dans cette invention comprend un orifice d'entrée qui permet de recevoir ledit écoulement gazeux, et des première et seconde lignes d'écoulement qui sont reliées à l'orifice d'entrée. Un système de mesure du débit massique mesure l'écoulement gazeux à travers la première ligne et fournit un signal indiquant le débit mesuré. Un restricteur réduit l'écoulement gazeux à travers la première ligne jusqu'à un débit souhaité. Ce restricteur présente une section d'écoulement plus petite sélectionnée de manière à obtenir une pression amont, d'une part, suffisamment élevée pour permettre le bon fonctionnement du système de mesure du débit massique et, d'autre part, inférieure à une pression seuil supérieure prédéterminée. Un dispositif de régulation du débit massique reçoit le signal indiquant le débit mesuré envoyé par le dispositif de mesure du débit massique et régule un débit à travers la seconde ligne en fonction de ce signal.
États désignés : DE, GB, JP, KR.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)