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1. (WO2002084403) PROCEDE DE PRODUCTION D'UNE COMPOSITION LIQUIDE SENSIBLE AUX ACIDES, CONTENANT UN CARBONATE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/084403    N° de la demande internationale :    PCT/EP2002/002996
Date de publication : 24.10.2002 Date de dépôt international : 19.03.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    02.11.2002    
CIB :
B01J 20/28 (2006.01), B01J 47/00 (2006.01), B01J 47/12 (2006.01), G03F 7/16 (2006.01)
Déposants : CLARIANT INTERNATIONAL LTD [CH/CH]; Rothausstrasse 61, CH-4132 Muttenz 1 (CH) (JP only).
CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED [--/--]; Wickhams Cay, P.O. Box 662, Road Town, Tortola (VG) (AT, BE, CH, CN, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, KR, LU, MC, NL, PT, SE, SG, TR only)
Inventeurs : OBERLANDER, Joseph, E.; (US)
Mandataire : HÜTTER, Klaus; Clariant Service GmbH, Patente, Marken, Lizenzen, Am Unisys-Park 1, 65843 Sulzbach (DE)
Données relatives à la priorité :
09/833,224 11.04.2001 US
Titre (EN) PROCESS FOR PRODUCING ACID SENSITIVE LIQUID COMPOSITION CONTAINING A CARBONATE
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UNE COMPOSITION LIQUIDE SENSIBLE AUX ACIDES, CONTENANT UN CARBONATE
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a method for producing an acid sensitive liquid composition. The method involves passing an acid sensitive liquid composition contained a carbonate represented by the formula ROC(=O(OR?1¿ wherein R and R?1¿ independently are a hydrocarbyl group of 1 to about 10 carbon atoms, through at least one of the following two filter sheets: (a) a filter sheet containing a selfsupporting fibrous matrix having immobilized therein a particulate filter aid and a particulate ion exchange resin having an average particle size of from about 2 to about 10 microns, wherein the particulate filter aid and ion exchange resin particles are distributed substantially uniformly throughout a cross-section of said matrix; and/or (b) a filter sheet containing a self-supporting matrix of fibers having immobilized therein particulate filter aid and binder resin, and having an average pore size of about 0.05 to 0.5 $g(m)mum. Also disclosed is a method for treating a film of photoresist composition disposed on a surface, which involves contacting the photoresist composition with an acid sensitive liquid composition prepared by the aforementioned method, in an amount sufficient to produce a substantially uniform film thickness of the photoresist compostion across the film surface.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de produire une composition liquide sensible aux acides. Il est prévu selon ledit procédé, de faire passer une composition liquide sensible aux acides, contenant un carbonate, représentée par la formule ROC(=O)OR?1¿, R et R?1¿ désignant indépendamment un groupe hydrocarbyle d'environ 1 et 10 atomes de carbone, à travers au moins une des deux feuilles filtrantes suivantes : (a) une feuille filtrante contenant une matrice fibreuse autoporteuse comprenant un auxiliaire filtrant particulaire immobilisé dedans et une résine échangeuse d'ions particulaire de taille particulaire moyenne de l'ordre d'approximativement 2 à 10 microns, l'auxiliaire filtrant particulaire et la résine échangeuse d'ions étant répartis sensiblement uniformément à travers la section transversale de ladite matrice ; et/ou (b) une feuille filtrante contenant une matrice autoporteuse de fibres ayant un auxiliaire filtrant particulaire immobilisé dedans et une résine liante, et dont les pores présentent une dimension moyenne de l'ordre d'approximativement 0,05 à 0,5 $g(m)m. L'invention concerne en outre un procédé permettant de traiter une composition de photorésine placée sur une surface, qui implique de mettre en contact la composition de photorésine avec une composition liquide sensible aux acides, obtenue selon le procédé mentionné ci-dessus, en quantité suffisante pour produire une épaisseur de film sensiblement uniforme de la composition de photorésine à travers la surface du film.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)