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1. (WO2002084213) MODELES PERIODIQUES ET TECHNIQUE PERMETTANT DE CONTROLER LE MESALIGNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/084213    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/011026
Date de publication : 24.10.2002 Date de dépôt international : 09.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.11.2002    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01L 23/544 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; 160 Rio Robles, San Jose, CA 95134-1809 (US)
Inventeurs : ABDULHALIM, Ibrahim; (IL).
ADEL, Mike; (IL).
FRIEDMANN, Michael; (IL).
FAEYRMAN, Michael; (IL)
Mandataire : HSUE, James, S.; Parsons Hsue & de Runtz LLP, 655 Montgmomery Street, Suite 1800, San Francisco, CA 94111 (US)
Données relatives à la priorité :
09/833,084 10.04.2001 US
Titre (EN) PERIODIC PATTERNS AND TECHNIQUE TO CONTROL MISALIGNMENT
(FR) MODELES PERIODIQUES ET TECHNIQUE PERMETTANT DE CONTROLER LE MESALIGNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A method and system to measure misalignment error between two overlying or interlaced periodic structures (13, 15) are proposed. The overlying or interlaced periodic structures are illuminated by incident radiation from a light source (101), and the diffracted radiation of the incident radiation by the overlying or interlaced periodic structures are detected by a detector (123, 125) to provide an output signal. The misalignment between the overlying or interlaced periodic structures may then be determined from the output signal.
(FR)Procédé et système permettant de mesurer l'erreur de mésalignement entre deux structures périodiques (13, 15) superposées ou entrelacées. Les structures périodiques superposées ou entrelacées sont illuminées par un rayonnement incident émis par une source de lumière (101) et le rayonnement diffracté du rayonnement incident produit par les structures périodiques superposées ou entrelacées est détecté par un détecteur (123, 125) pour fournir un signal de sortie. Le mésalignement entre les structures périodiques superposées ou entrelacées peut ensuite être déterminé à partir du signal de sortie.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)