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1. (WO2002082598) LASER F2 IMPLANTE PAR INJECTION MUNI D'UN FILTRE PREINJECTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082598    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/010734
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 04.04.2002
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/03 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01), H01S 3/038 (2006.01), H01S 3/08 (2006.01), H01S 3/0943 (2006.01), H01S 3/097 (2006.01), H01S 3/0971 (2006.01), H01S 3/102 (2006.01), H01S 3/139 (2006.01), H01S 3/223 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; (a Nevada corporation) 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US) (Tous Sauf US).
SANDSTROM, Richard, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
PARTLO, William, N. [US/US]; (US) (US Seulement).
ONKELS, Eckehard, D. [DE/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SANDSTROM, Richard, L.; (US).
PARTLO, William, N.; (US).
ONKELS, Eckehard, D.; (US)
Mandataire : ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Department-MS/1-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US)
Données relatives à la priorité :
09/829,475 09.04.2001 US
Titre (EN) INJECTION SEEDED F¿2? LASER WITH PRE-INJECTED FILTER
(FR) LASER F2 IMPLANTE PAR INJECTION MUNI D'UN FILTRE PREINJECTE
Abrégé : front page image
(EN)A narrow band F¿2? laser system useful for integrated circuit lithography. An output beam from a first F¿2? laser gain medium (master oscillator) is filtered with a pre-gain filter to produce a seed beam having a bandwidth of about 0.1 pm or less. The seed beam is amplified in a power gain stage which includes a second F¿2? laser gain medium. The output beam of the system is a pulsed laser beam with a full width half maximum band width of about 0.1 pm or less with pulse energy in excess of about 5 mJ. In a preferred embodiment the pre-gain filter includes a wavelength monitor that permits feedback control over the centreline wavelength so that the pre-gain filter optics can be adjusted to ensure that the desired bandwidth range is injected into the power gain stage.
(FR)L'invention concerne un système laser F2 à bande étroite utilisable dans une lithographie à circuits intégrés. Un faisceau de sortie provenant d'un premier support de gain laser F2 est filtré à l'aide d'un filtre de préamplification afin de produire un faisceau d'implantation présentant une largeur de bande d'environ 0,1 pm ou moins. Le faisceau d'implantation est amplifiée dans un étage d'amplification de puissance comprenant un deuxième support de gain laser F2. Le faisceau de sortie du système est un faisceau laser à impulsions dont la pleine largeur correspond à la moitié de la largeur de bande maximale d'environ 0,1 pm ou moins, avec une énergie pulsée excédentaire d'environ 5 mJ. Dans une forme de réalisation préférée, le filtre de préamplification comprend un moniteur de longueur d'onde qui permet un asservissement sur la longueur d'onde axiale tel que les dispositifs optiques du filtre de préamplification puissent être réglés de sorte que la gamme de largeur de bande désirée soit injectée dans l'étage d'amplification de puissance.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)