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1. (WO2002082533) CONTROLE PLUS EFFICACE DES DEFECTUOSITES PAR ANALYSE STATISTIQUE IN SITU DES DONNEES RELATIVES AUX DEFECTUOSITES PENDANT L'INSPECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2002/082533    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/010871
Date de publication : 17.10.2002 Date de dépôt international : 05.04.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.11.2002    
CIB :
G01N 23/225 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : DAVIDSON, Michael; (**)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 7th Floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/828,345 05.04.2001 US
Titre (EN) DEFECT INSPECTION EFFICIENCY IMPROVEMENT WITH IN-SITU STATISTICAL ANALYSIS OF DEFECT DATA DURING INSPECTION
(FR) CONTROLE PLUS EFFICACE DES DEFECTUOSITES PAR ANALYSE STATISTIQUE IN SITU DES DONNEES RELATIVES AUX DEFECTUOSITES PENDANT L'INSPECTION
Abrégé : front page image
(EN)A method and system for increasing the efficiency and reducing the time required for defect inspection of microfabricated structures such as semiconductor wafers, masks or reticles for micro-fabrication, flat panel displays, micro-electro-mechanical (MEMs). In one embodiment a method of inspection of micro-fabricated structures is optimized by statistically analyzing defect data during inspection by collecting defect data during inspection, calculating at least one statistic of the defect data, continuing inspection while the at least one statistic is outside a predetermined range and stopping inspection when the at least one statistic is within the predetermined range.
(FR)Cette invention concerne un procédé et un système permettant d'améliorer l'efficacité et d'accélérer l'inspection de défectuosités sur des structures fabriquées par micro-usinage telles que des tranches de semi-conducteurs, des masques ou des réticules pour micro-fabrication, des affichages à panneaux plats ou des micro-éléments électromécaniques (MEMs). Selon un mode de réalisation, on optimise la méthode d'inspection pour structures fabriquées par micro-usinage de la manière suivante : analyse statistique des données relatives aux défectuosités recueillies au cours de l'inspection, calcul d'au moins une valeur statistique desdites données, poursuite de l'inspection tant que la valeur statistique se situe hors d'une plage prédéterminée et arrêt de l'inspection lorsque cette donnée se situe dans la dite plage.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)